[发明专利]一种基于表面等离激元格点共振的光学器件有效

专利信息
申请号: 201910749239.1 申请日: 2019-08-14
公开(公告)号: CN110441843B 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 李光元;杨秀华;鲁远甫;焦国华;吕建成 申请(专利权)人: 深圳先进技术研究院
主分类号: G02B5/00 分类号: G02B5/00
代理公司: 深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙) 44486 代理人: 崔艳峥
地址: 518055 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种基于表面等离激元格点共振的光学器件包括基底介质板以及沉积于所述基底介质板上的纳米结构单元阵列,所述纳米结构单元由从下往上依次设置的且截面形状相同的底层金属柱、中层介质柱和顶层金属柱紧贴叠加构成,所述底层金属柱和所述顶层金属柱的材料相同,所述纳米结构单元以周期性排布均匀分布在所述基底介质板上。上述光学器件在不对称(非均匀)的介质环境下性能优越,结构简单、制备成本低、易于集成化和小型化,在纳米量级的尺寸非常适合大规模生产,能够用来制作纳米激光器、窄线宽滤波器、纳米尺寸非线性器件和生化传感器等光学器件,在光子回路、光通信、生物医学及环境监测等诸多领域拥有巨大的潜在应用价值。
搜索关键词: 一种 基于 表面 离激元格点 共振 光学 器件
【主权项】:
1.一种基于表面等离激元格点共振的光学器件,包括基底介质板(1)以及沉积于所述基底介质板(1)上的纳米结构单元阵列,坐标轴设定为x方向与y方向垂直,且两者平行于所述基底介质板(1),z方向垂直于所述基底介质板(1),其特征在于,所述纳米结构单元由从下往上依次设置的底层金属柱(2)、中层介质柱(3)和顶层金属柱(4)紧贴叠加构成;所述底层金属柱(2)、所述中层介质柱(3)和所述顶层金属柱(4)平行于所述基底介质板(1)的截面形状相同;所述底层金属柱(2)和所述顶层金属柱(3)的材料相同;所述纳米结构单元沿x方向与y方向以相同的周期均匀排布在所述基底介质板(1)上,介质层(5)覆盖于所述纳米结构阵列上。
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