[发明专利]一种基于外尔半金属的声波探测器在审
| 申请号： | 201910743490.7 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN110440904A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 金华伏安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 322200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于外尔半金属的声波探测器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有第一电极、第二电极，所述第一电极与第二电极相互间隔，两者之间形成谐振腔，所述第一电极与第二电极的上方设置有外尔半金属层，并且外尔半金属两端分别与第一电极、第二电极接触；该基于外尔半金属的声波探测器，通过声波振动改变光生电流的强度，通过检测光生电流的变化，实现声波的检测；相比于现有的声波检测器不仅结构简单，而且灵敏度更高，具有更高的测量精度和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 第二电极 第一电极 半金属 声波探测器 光生电流 衬底层 声波检测器 声波 半金属层 声波振动 灵敏度 谐振腔 检测 测量 | ||
【主权项】：
1.一种基于外尔半金属的声波探测器,包括衬底层（1）, 其特征在于:所述衬底层（1）的上方设置有第一电极（2）、第二电极（3），所述第一电极（2）与第二电极（3）相互间隔，两者之间形成谐振腔（4），所述第一电极（2）与第二电极（3）的上方设置有外尔半金属层（5），并且外尔半金属（5）两端分别与第一电极（2）、第二电极（3）接触。
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