[发明专利]一种基于外尔半金属的声波探测器

权利要求书

1.一种基于外尔半金属的声波探测器,包括衬底层（1）, 其特征在于:所述衬底层（1）的上方设置有第一电极（2）、第二电极（3），所述第一电极（2）与第二电极（3）相互间隔，两者之间形成谐振腔（4），所述第一电极（2）与第二电极（3）的上方设置有外尔半金属层（5），并且外尔半金属（5）两端分别与第一电极（2）、第二电极（3）接触。

2.如权利要求1所述的一种基于外尔半金属的声波探测器，其特征在于:所述外尔半金属层（5）与第一电极（2）、第二电极（3）的接触面设置有光栅（6）。

3.如权利要求1所述的一种基于外尔半金属的声波探测器，其特征在于:所述第一电极（2）、第二电极（3）的上表面设置有凸槽（7），所述外尔半金属层（5）与第一电极（2）、第二电极（3）接触的下表面处设置有与凸槽（7）配合的凹槽（8）。

4.如权利要求1或2或3所述的一种基于外尔半金属的声波探测器，其特征在于:所述外尔半金属层（5）厚度为20nm～80nm。

5.如权利要求1或2或3所述的一种基于外尔半金属的声波探测器，其特征在于:所述外尔半金属层（5）是由二碲化钼、砷化铌、砷化钽中的任一种制成。

6.如权利要求1所述的一种基于外尔半金属的声波探测器，其特征在于:所述谐振腔（4）的内表面设置有吸波层。

7.如权利要求1所述的一种基于外尔半金属的声波探测器，其特征在于:所述谐振腔（4）为U形。

8.如权利要求1所述的一种基于外尔半金属的声波探测器，其特征在于:所述第一电极（2）与第二电极（3）的高度相同。