[发明专利]一种石墨烯/铜复合金属互连线的制备方法

摘要

本发明提供了一种石墨烯/铜复合金属互连线的制备方法，包括以下步骤：A)将铜粉和石墨烯混合后进行球磨，得到混合粉体；所述石墨烯占所述混合粉体质量的1～8％；B)在保护性气氛下，将所述混合粉体进行微波热压烧结，和热等静压，得到铜/石墨烯靶材；所述微波热压烧结的真空度达到10‑4Pa以下时，开始升温，升温速率为10～20℃/min，升至500～600℃后，再以20～30℃/min的速率升至750～950℃，保温0.1～1小时；C)使用所述铜/石墨烯靶材在刻蚀后的硅基底表面进行磁控溅射镀膜，得到石墨烯/铜复合金属互连线。本发明中的方法增强了器件的散热能力和传输速率，减少电子迁移对材料性能的损害。