[发明专利]一种石墨烯/铜复合金属互连线的制备方法

权利要求书

1.一种石墨烯/铜复合金属互连线的制备方法，包括以下步骤：

A)将铜粉和石墨烯混合后进行球磨，得到混合粉体；所述石墨烯占所述混合粉体质量的1～8％；

B)在保护性气氛下，将所述混合粉体进行微波热压烧结，所述微波热压烧结完成后，将得到的坯料进行热等静压，得到铜/石墨烯靶材；

所述微波热压烧结的真空度达到10^-4Pa以下时，开始升温，升温速率为10～20℃/min，升至500～600℃后，再以20～30℃/min的速率升至750～950℃，保温0.1～1小时；

所述热等静压的压强为130～180MPa；所述热等静压的温度为900～1000℃；所述热等静压的保温时间为1～3小时；

C)使用所述铜/石墨烯靶材在刻蚀后的硅基底表面进行磁控溅射镀膜，得到石墨烯/铜复合金属互连线。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铜粉的粒径为1～2μm；

所述石墨烯的粒径为1～2μm。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述球磨的转速为400～600r/min；

所述球磨的时间为4～6小时；

所述球磨中球料的质量比为15:1。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述微波热压烧结的压力为20～50MPa。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热等静压以氩气为施压气体。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射的功率为60～100W；

所述磁控溅射的本底真空度为3～6×10^-4Pa。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射的温度为400～500℃；

所述磁控溅射的时间为5～15min。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述磁控溅射以高纯Ar气为工作气体；

所述高纯Ar气的流量为50～200mL/min。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤C)中薄膜的生长速度为