[发明专利]用于抛光铜膜的CMP浆液组合物以及使用其抛光铜膜的方法在审
| 申请号： | 201910732050.1 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN110819237A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 李泳基;金亨默;辛奈律;姜东宪;朴泰远 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C23F3/04 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道龙仁*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于抛光铜膜的CMP浆液组合物和使用其抛光铜膜的方法。CMP浆液组合物包含：选自极性溶剂和非极性溶剂当中的至少一种；金属氧化物磨料；甘氨酸；组氨酸；以及咪唑化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 抛光 cmp 浆液 组合 以及 使用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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