[发明专利]MEMS结构、MEMS结构的制作方法及胎压传感器有效
| 申请号： | 201910722234.X | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110577185B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 聂泳忠 | 申请（专利权）人： | 西人马联合测控（泉州）科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01L9/06;G01L17/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS结构、MEMS结构的制作方法及胎压传感器，MEMS结构包括第一器件，第一器件包括：第一支承部件；悬梁部件；质量块；以及第一压敏组件，其中，悬梁部件及质量块位于绝缘体上硅衬底内，SOI衬底具有相对的第一表面和第二表面，SOI衬底包括自第一表面至第二表面依次叠层设置的第一硅层、第一绝缘层、第二硅层、第二绝缘层以及第三硅层，悬梁部件在厚度维度上包含第三硅层，质量块在厚度维度上包含第二硅层、第二绝缘层以及第三硅层。根据本发明实施例的MEMS结构，其第一器件的悬梁部件、质量块等结构各自具有较高均匀性和一致性的层结构，提高第一器件的制造品控。此外，降低了第一器件制造工艺的复杂性，同时降低制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | mems 结构 制作方法 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS结构，其特征在于，包括第一器件，所述第一器件包括：/n第一支承部件；/n悬梁部件，包括相对的第一端和第二端，所述第一端与所述第一支承部件固定，所述第二端悬空；/n质量块，连接于所述悬梁部件的第二端；以及/n第一压敏组件，至少部分位于所述悬梁部件内，所述第一压敏组件根据所述悬梁部件的形变产生第一电信号，/n其中，所述悬梁部件及所述质量块位于SOI衬底内，所述SOI衬底具有相对的第一表面和第二表面，所述SOI衬底包括自所述第一表面至所述第二表面依次叠层设置的第一硅层、第一绝缘层、第二硅层、第二绝缘层以及第三硅层，所述悬梁部件在厚度维度上包含所述第三硅层，所述质量块在厚度维度上包含所述第二硅层、所述第二绝缘层以及所述第三硅层。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西人马联合测控（泉州）科技有限公司，未经西人马联合测控（泉州）科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910722234.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
