[发明专利]叉指电极结构的碲锌镉脉冲探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910721676.2 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110471100A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 朱昊;徐亚东;汪雅伟;郭玉;周策 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01T1/24 | 分类号： | G01T1/24 |
| 代理公司： | 61204 西北工业大学专利中心 | 代理人： | 王鲜凯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种叉指电极结构的碲锌镉脉冲探测器及其制备方法，用于解决现有双平面型电极结构的碲锌镉脉冲探测器响应速度慢的技术问题。技术方案是碲锌镉脉冲探测器以碲锌镉晶片作为基底，金电极是单表面叉指结构，两者形成欧姆接触。碲锌镉脉冲探测器的制备方法，首先对碲锌镉晶片表面进行预处理，通过光刻刻蚀手段制备出符合要求的电极结构掩膜版，然后蒸镀金电极，最后通过氧离子刻蚀完成探测器的钝化，减小漏电流。本发明采用叉指电极结构代替传统的平面型电极结构，叉指电极结构的碲锌镉脉冲探测器内部载流子输运路径为横向输运，内部电场强度更大，载流子运动产生的电信号强度更强，同时载流子的输运距离便于调控，探测器的响应速度更快。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲探测器 碲锌镉 叉指电极 制备 碲锌镉晶片 电极结构 载流子 预处理 平面型电极 完成探测器 载流子输运 载流子运动 叉指结构 镀金电极 横向输运 欧姆接触 输运距离 双平面型 传统的 单表面 金电极 漏电流 掩膜版 氧离子 响应 探测器 钝化 基底 减小 刻蚀 调控 | ||
【主权项】：
1.一种叉指电极结构的碲锌镉脉冲探测器，其特征在于：以碲锌镉晶片作为基底，金电极是单表面叉指结构，两者形成欧姆接触。/n
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