[发明专利]叉指电极结构的碲锌镉脉冲探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种叉指电极结构的碲锌镉脉冲探测器，其特征在于：以碲锌镉晶片作为基底，金电极是单表面叉指结构，两者形成欧姆接触。

2.一种权利要求1所述叉指电极结构的碲锌镉脉冲探测器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

步骤一、采用布里奇曼法生长碲锌镉晶体，使用金刚石线切割机切出尺寸为8×8×2mm³～10×10×2mm³的晶片，利用红外显微成像系统和IV测试系统筛选出电阻率大于10^-9Ω·cm的碲锌镉晶片；

步骤二、按照体积比为氧化镁:去离子水＝2:1配制悬浊液作为粗抛液，按照体积比为硅溶胶:过氧化氢＝1:1配制体积分数40～60％的细抛液，化学腐蚀液为体积分数为1～3％的溴甲醇溶液；将筛选出碲锌镉晶片先在粗抛液粗抛5～10分钟，无肉眼可见划痕；再在细抛液中细抛300～600次，显微镜下无划痕；最后在化学腐蚀法腐蚀25～35s除去机械损伤层；

步骤三、采用旋涂法在经过处理的碲锌镉晶片表面依次覆盖一层剥离胶和光刻胶，在紫外光机下曝光50～70s后，显影10～15s，得到叉指电极结构掩膜版；

旋涂剥离胶时设定转速为600～1000rmp，旋涂时间5～10s，旋涂完剥离胶后放置于85～95℃的加热台加热80～100s，；旋涂光刻胶时设定转速3500～4500rmp，旋涂时间40～60s，旋涂完光刻胶后放置于85～95℃的加热台加热20～40s；

步骤四、利用真空蒸镀法制备金电极，电极厚度60～80nm，蒸镀时间80～120s，蒸镀电流60～80A，得到碲锌镉脉冲探测器；

步骤五、最后使用干法钝化在，得到碲锌镉脉冲探测器表面裸露部分形成氧化物，减小漏电流；

干法钝化所用的反应离子刻蚀的功率为5～10W，时间为20～30分钟，气体为氧气，氧气气压0.20～0.30MPa，进气流量为70～90cm³/min，工作气压至4.0～6.0Pa。

3.根据权利要求2所述的叉指电极结构的碲锌镉脉冲探测器的制备方法，其特征在于：所述叉指电极结构掩膜版尺寸为8×8～10×10mm²，间隙宽度均为0.5～1.5mm，电极宽度均为0.5～1.5mm，上下横条电极的宽度为1～2mm。