[发明专利]一种运动台直线位移测量及偏转检测装置在审
| 申请号： | 201910720065.6 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110449993A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 李元哲;张文涛;熊显名;杜浩 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | B23Q17/24 | 分类号： | B23Q17/24;G01B11/02 |
| 代理公司： | 11429 北京中济纬天专利代理有限公司 | 代理人： | 石燕妮<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 541004广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种运动台直线位移测量及偏转检测装置，所述激光干涉仪与机床活动连接，所述转接板与机床上的运动台固定连接，所述直角棱镜与所述转接板固定连接，并位于所述转接板与所述激光干涉仪之间，所述分束镜与机床固定连接，且位于所述激光干涉仪的一侧，所述PSD位置传感器与机床活动连接，并位于所述分束镜的下方。达到提高运动台直线位移测量及偏转检测装置的测量精度的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 机床 运动台 转接板 偏转检测装置 直线位移测量 激光干涉仪 活动连接 分束镜 激光干涉 直角棱镜 测量 | ||
【主权项】：
1.一种运动台直线位移测量及偏转检测装置，其特征在于，/n包括激光干涉仪、转接板、直角棱镜、分束镜和PSD位置传感器，所述激光干涉仪与机床活动连接，所述转接板与机床上的运动台固定连接，所述直角棱镜与所述转接板固定连接，并位于所述转接板与所述激光干涉仪之间，所述分束镜与机床固定连接，且位于所述激光干涉仪的一侧，所述PSD位置传感器与机床活动连接，并位于所述分束镜的下方。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于桂林电子科技大学，未经桂林电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910720065.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于单位切削能系数计算车削功率的方法
- 下一篇：一种腹杆梁的生产线和生产方法
