[发明专利]一种运动台直线位移测量及偏转检测装置

权利要求书

1.一种运动台直线位移测量及偏转检测装置，其特征在于，

包括激光干涉仪、转接板、直角棱镜、分束镜和PSD位置传感器，所述激光干涉仪与机床活动连接，所述转接板与机床上的运动台固定连接，所述直角棱镜与所述转接板固定连接，并位于所述转接板与所述激光干涉仪之间，所述分束镜与机床固定连接，且位于所述激光干涉仪的一侧，所述PSD位置传感器与机床活动连接，并位于所述分束镜的下方。

2.如权利要求1所述的运动台直线位移测量及偏转检测装置，其特征在于，

所述激光干涉仪为双频光学四倍程激光干涉仪，所述激光干涉仪包括壳体、激光器、偏振分光镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、固定镜和第一角锥棱镜。

3.如权利要求2所述的运动台直线位移测量及偏转检测装置，其特征在于，

所述激光器与所述壳体固定连接，并位于所述壳体的内部，所述偏振分光镜与所述壳体固定连接，并位于所述激光器的输出光路的一侧，所述第一四分之一波片与所述壳体固定连接，并位于所述偏振分光镜的上方，所述第二四分之一波片与所述壳体固定连接，并位于所述偏振分光镜远离所述激光器的一端，所述固定镜设于所述第一四分之一波片的上方，所述第一角锥棱镜设于所述偏振分光镜远离所述第一四分之一波片的一端，所述直角棱镜设于所述第二四分之一波片远离所述偏振分光镜的一端，所述分束镜设于所述第二四分之一波片和所述直角棱镜之间。

4.如权利要求3所述的运动台直线位移测量及偏转检测装置，其特征在于，

所述激光器的输出光路利用所述直角棱镜在双频光学四倍程激光干涉仪的干涉臂和测量臂中各走四个来回。

5.如权利要求2所述的运动台直线位移测量及偏转检测装置，其特征在于，

所述激光器与所述壳体固定连接，并位于所述壳体的内部，所述偏振分光镜与所述壳体固定连接，并位于所述激光器的输出光路的一侧，且所述偏振分光镜的下方固定连接有所述分束镜，所述第一四分之一波片和所述第二四分之一波片分别与所述壳体固定连接，且所述第一四分之一波片位于所述偏振分光镜的左侧，所述第二四分之一波片位于所述偏振分光镜的下侧，所述固定镜和第一角锥棱镜分别与所述壳体固定连接，所述固定镜位于所述偏振分光镜的左侧，所述第一角锥棱镜位于所述偏振分光镜的右侧，所述直角棱镜设于所述第二四分之一波片的下方，且所述直角棱镜沿直线运动。

6.如权利要求4或5所述的运动台直线位移测量及偏转检测装置，其特征在于，

所述激光器选用波长为632.8nm的氦氖激光器，且氦氖激光器产生双频激光。

7.如权利要求1至6任一项所述的运动台直线位移测量及偏转检测装置，其特征在于，

所述PSD位置传感器的波长范围为400nm～1000nm。

8.如权利要求7所述的运动台直线位移测量及偏转检测装置，其特征在于，

所述PSD位置传感器的位置分辨率为500nm～800nm。

9.如权利要求8所述的运动台直线位移测量及偏转检测装置，其特征在于，

所述PSD位置传感器的尺寸为20mm×20mm。