[发明专利]成膜速率监视装置及成膜装置有效
| 申请号： | 201910714774.3 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN110819962B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 住谷利治 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够实现装置的长寿命化并且实现制造节拍的提高的成膜速率监视装置及成膜装置。成膜速率监视装置基于使从蒸发源(300)升华或气化了的成膜材料(400)附着于石英晶体振子(13)时的石英晶体振子(13a)的谐振频率的变化来检测成膜材料相对于成膜对象物(100)的成膜速率，其特征在于，具备通过旋转而能够取得遮蔽部(12b)位于蒸发源与石英晶体振子之间的遮蔽状态和开口部(12a)位于蒸发源与石英晶体振子之间的非遮蔽状态的遮蔽构件(12)，具有使遮蔽构件旋转以在规定的期间内成为非遮蔽状态的期间成为第一长度的第一遮蔽模式、和使遮蔽构件旋转以在规定的期间内成为非遮蔽状态的期间成为比第一长度长的第二长度的第二遮蔽模式。 | ||
| 搜索关键词： | 速率 监视 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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