[发明专利]用于集成电路的气体污染物取样装置在审
| 申请号： | 201910711188.3 | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN110346188A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 徐小明;聂艳群 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/22 | 分类号： | G01N1/22;G01N1/24;G01N1/40;G01M3/26;G01N30/08 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种气体污染物取样装置，其包括取样容器，所述取样容器包括：容置腔，所述容置腔内能够放置取样液体；进样管，插入所述容置腔，且所述进样管的出气口能够位于所述取样液体的液面之下；出气管，插入所述容置腔，且所述出气管的进气口能够位于所述取样液体的液面之上；多孔芯，设置在所述进样管的出气口端，待取样气体能够经所述多孔芯进入所述取样液体内。本发明的优点在于，增大进入所述取样液体内的气体的表面积，增大待取样气体与所述取样液体的接触面积，提高取样液体固定待取样气体中的污染物能力和效率，且待取样气体洗脱更充分，测试数据更具有代表性，也更加安全。 | ||
| 搜索关键词： | 取样液体 取样气体 容置腔 进样管 气体污染物 取样容器 取样装置 出气管 出气口 多孔芯 液面 进气口 污染物能力 测试数据 洗脱 集成电路 安全 | ||
【主权项】：
1.一种用于集成电路的气体污染物取样装置，其特征在于，包括取样容器，所述取样容器包括：容置腔，所述容置腔内能够放置取样液体；进样管，插入所述容置腔，且所述进样管的出气口能够位于所述取样液体的液面之下；出气管，插入所述容置腔，且所述出气管的进气口能够位于所述取样液体的液面之上；多孔芯，设置在所述进样管的出气口端，待取样气体能够经所述多孔芯进入所述取样液体内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910711188.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种二噁英检测采样装置
- 下一篇：一种烟囱尾气采样管及其使用方法
