[发明专利]用于集成电路的气体污染物取样装置

权利要求书

1.一种用于集成电路的气体污染物取样装置，其特征在于，包括取样容器，所述取样容器包括：

容置腔，所述容置腔内能够放置取样液体；

进样管，插入所述容置腔，且所述进样管的出气口能够位于所述取样液体的液面之下；

出气管，插入所述容置腔，且所述出气管的进气口能够位于所述取样液体的液面之上；

多孔芯，设置在所述进样管的出气口端，待取样气体能够经所述多孔芯进入所述取样液体内。

2.根据权利要求2所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述容置腔的底部为圆弧形。

3.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述容置腔至少包括两个区段，所述区段的内径不相等。

4.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述容置腔包括自底部依次设置的第一区段及第二区段，所述第二区段的内径小于所述第一区段的内径。

5.根据权利要求4所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述第一区段的形状为球形，所述第二区段的形状为柱形。

6.根据权利要求4所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述第二区段的内径为所述第一区段的内径的0.5～0.8倍。

7.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述容置腔具有开口，所述进样管及所述出气管经所述开口插入所述容置腔，在所述开口处设置有单向逆止阀门，所述单向逆止阀门的通行方向为朝向所述容置腔内。

8.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述进样管设置在所述容置腔的中间。

9.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，在所述进样管的进气口端设置有滤芯，待取样气体经所述滤芯进入所述进样管，所述滤芯用于过滤待取样气体中的颗粒物。

10.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，在所述出气管内设置有浮子，以监测在所述出气管内是否有气体流动。

11.根据权利要求10所述的气体污染物取样装置，其特征在于，在所述出气管对应所述浮子的区域，所述出气管壁上设置有标记，以指示气体流量。

12.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述多孔芯位于所述进样管内，或者所述多孔芯位于所述进样管的所述出气口的外部。

13.根据权利要求1所述的气体污染物取样装置，其特征在于，所述取样装置还包括：

抽气装置，与所述取样容器的出气管连通，用于抽取所述出气管内的气体。

14.根据权利要求13所述的气体污染物取样装置，其特征在于，在所述抽气装置与所述取样容器之间还设置有：

缓冲装置，与所述出气管连通，所述出气管的气体排出至所述缓冲装置；

干燥装置，分别与所述缓冲装置及所述抽气装置连通。