[发明专利]研磨装置在审
| 申请号： | 201910694307.9 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN112296830A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 黄宝锋;林君安;侯柏均;杨宗霖 | 申请（专利权）人： | 均豪精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B41/02;B24B47/04 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 傅磊;闫华 |
| 地址： | 中国台湾新竹市科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨装置，包含基座、二承载组、第一砂轮组及第二砂轮组。二承载组分别设置于基座上并包含下主轴及载盘。载盘设置于下主轴上以承载待磨组件。第一砂轮组及第二砂轮组分别可位移地设置于基座上。第一砂轮组包含第一Z轴滑台及第一砂轮轴。第二砂轮组包含第二Z轴滑台及第二砂轮轴。第一砂轮轴可位移地设置于第一Z轴滑台上，并受第一Z轴滑台带动于二载盘上方位移。第二砂轮轴可位移地设置于第二Z轴滑台上，并受第二Z轴滑台带动于二载盘上方位移。借此，可提升研磨装置的作业速度及加工精度，并提升产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
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