[发明专利]一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法在审
| 申请号： | 201910693813.6 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN110320226A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 李艳丽;伍强;杨渝书 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;马盼 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，用于对周期性图像进行扫描，包括如下步骤：S01：确定扫描方向为图像的周期性方向，并定义扫描方向为图像的行方向；将图像分为M行N列；S02：将每一行图像分为X个区域，X为大于0的整数；S03：电子束按照无序扫描路径对第1行中每个区域进行扫描，且X个区域中的无序扫描路径相同；S04：重复步骤S03直至完成周期性图像的M行扫描。本发明提供的一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，将扫描电子显微镜中的有序扫描路径变为无序扫描路径，使得扫描电子显微镜在扫描周期性图像时减弱摩尔纹的强度或者消除摩尔纹。 | ||
| 搜索关键词： | 摩尔纹 扫描 扫描路径 扫描电子束 周期性图像 图像 成像 扫描电子显微镜 扫描方向 电子束 周期性方向 行扫描 重复 | ||
【主权项】：
1.一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，用于对周期性图像进行扫描，所述周期性图像中包含周期性排列的图案；其特征在于，包括如下步骤：S01：确定扫描方向为图像的周期性方向，并定义扫描方向为图像的行方向；将图像分为M行N列，其中，周期性方向指的是图像中周期性排列的图案的排列方向；M和N均为大于0的整数；S02：将每一行图像分为X个区域，X为大于0的整数；S03：电子束按照无序扫描路径对第1行中每个区域进行扫描，且X个区域中的无序扫描路径相同；S04：重复步骤S03直至完成周期性图像的M行扫描。
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