[发明专利]一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法

说明书

本发明公开了一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，用于对周期性图像进行扫描，包括如下步骤：S01：确定扫描方向为图像的周期性方向，并定义扫描方向为图像的行方向；将图像分为M行N列；S02：将每一行图像分为X个区域，X为大于0的整数；S03：电子束按照无序扫描路径对第1行中每个区域进行扫描，且X个区域中的无序扫描路径相同；S04：重复步骤S03直至完成周期性图像的M行扫描。本发明提供的一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，将扫描电子显微镜中的有序扫描路径变为无序扫描路径，使得扫描电子显微镜在扫描周期性图像时减弱摩尔纹的强度或者消除摩尔纹。

技术领域

本发明涉及集成电路成像领域，具体涉及一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法。

背景技术

众所周知，扫描电子显微镜通过控制扫描线圈的电流大小来控制电子束的偏转角度，如图1所示，其中，电流大小与偏转角度成正比，电子束偏转角度越小，在样品上移动的距离越小，从而实现更高的放大倍率。所以，对于特定的放大倍率，电子束偏转角度固定，并且扫描电子显微镜的扫描路径是周期性的，因此，电子束在样品上移动的距离也是等间距的，也即周期性的。

当被扫描图像上包含周期性排列的图案时，图像中周期性排列的图案与电子束的周期性路径叠加在一起，导致在较长周期上格点发生重合，从而产生摩尔纹，如附图2所示；摩尔纹的存在严重干扰对周期性图像细节的辨识。尤其是对于5nm以下的半导体技术节点，很多层次需要采用极紫外光刻机(EUV)进行曝光，且经EUV曝光后的图形周期性更加明显，因此在电子束扫描过程中摩尔纹更加明显。目前，对于扫描电子显微镜扫描之后的图像所存在的摩尔纹问题亟待解决。

发明内容

本发明的目的是提供一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，将扫描电子显微镜中的有序扫描路径变为无序扫描路径，使得扫描电子显微镜在扫描周期性图像时减弱摩尔纹的强度或者消除摩尔纹。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种减弱扫描电子束成像中摩尔纹的扫描方法，用于对周期性图像进行扫描，周期性图像中包含周期性排列的图案；包括如下步骤：

S01：确定扫描方向为图像的周期性方向，并定义扫描方向为图像的行方向；将图像分为M行N列，其中，周期性方向指的是图像中周期性排列的图案的排列方向；M和N均为大于0的整数；

S02：将每一行图像分为X个区域，X为大于0的整数；

S03：电子束按照无序扫描路径对第1行中每个区域进行扫描，且X个区域中的无序扫描路径相同；

S04：重复步骤S03直至完成周期性图像的M行扫描。

进一步地，当所述周期性方向为多个时，确定其中一个周期性方向为扫描方向。

进一步地，M行图像中相同位置的区域的无序扫描路径相同。

进一步地，M行图像中相同位置的区域的无序扫描路径均不相同。

进一步地，M行图像中相同位置的区域的无序扫描路径部分相同。

进一步地，所述步骤S03中电子束按照无序扫描路径进行扫描时，每次扫描的行放大倍率相同。

进一步地，所述电子束的扫描周期为每个区域在行方向上的距离。

进一步地，所述步骤S02将每一行图像等分为X个区域。

进一步地，所述无序扫描路径中电子束的每一次移动轨迹均与图像的行方向不平行。

本发明的有益效果为：本发明利用扫描电子显微镜拍摄周期性样品时，可以减弱摩尔纹的强度或者消除摩尔纹，从而能够更好的分辨周期性图像，排除了摩尔纹的出现会掩盖一些缺陷的可能性，而这种掩盖在更小的技术节点内是致命的。

附图说明