[发明专利]基板处理装置有效
| 申请号： | 201910693142.3 | 申请日： | 2015-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN110451316B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 鬼头义昭;加藤正纪;奈良圭;堀正和 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B65H20/02 | 分类号： | B65H20/02;B65H20/24;B65H20/34;B65H18/10;B65H23/188;H01L21/677;H01L21/67;G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天尧;任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供提供一种即使是在以任一处理装置对片状基板实际实施的处理的状态与目标的处理状态不同时，亦能在无需停止制造系统全体的情形下，进行电子元件的制造的处理系统及元件制造方法。一种将长条的可挠性片状基板(P)沿长条方向依序搬送至第1～第3处理装置(PR2～PR4)的各个，以在片状基板(P)形成既定图案的处理系统(10)，第1～第3处理装置(PR2～PR4)依据设定于各个处理装置的设定条件对片状基板(P)施以既定处理，在第1～第3处理装置(PR2～PR4)的各个中对片状基板(P)实施的实处理状态中的至少一者相对目标的处理状态呈现处理误差(E)的情形时，使呈现处理误差(E)的设定条件以外的其他设定条件因应处理误差(E)变化。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，其被使用于借由将具有可挠性的长条的片状基板往长条方向搬送，并依次通过多个处理步骤，而在前述片状基板上形成电子元件用图案的制造线，且分担前述多个处理步骤中的特定处理步骤，前述基板处理装置具备：/n第1搬送部，以既定速度搬送前述片状基板；/n第1处理部，在前述片状基板实施前述特定处理步骤；以及/n第1控制装置，以前述特定处理步骤以作为目标而设定的第1处理条件而实行的方式，控制前述第1搬送部与前述第1处理部，/n前述第1控制装置，/n在沿着前述片状基板的搬送方向，分担前述特定处理步骤的上游侧、或下游侧的其他处理步骤的其他基板处理装置根据其他处理条件进行实处理的结果，在前述片状基板形成的前述图案的品质显示出从既定容许范围偏离的倾向时，在由前述第1搬送部与前述第1处理部所进行的实处理的期间，修正作为前述目标而设定的前述第1处理条件。/n
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