[发明专利]一种表面声波波束散射检测芯片

摘要

本发明涉及一种表面声波波束散射检测芯片，包括压电基片，制作于压电基片表面的第一输入叉指换能器、第二输入叉指换能器、第三输入叉指换能器、第四输入叉指换能器、第一输出叉指换能器、第二输出叉指换能器、第一短路反射器、第二短路反射器、第三短路反射器、第四短路反射器、内吸声胶胶膜、第一外吸声胶胶膜、第二外吸声胶胶膜以及第一输入电极、第二输入电极、第一输出电极、第二输出电极和若干个接地电极；本发明通过在输入叉指换能器的一侧设置与之偏轴的短路反射器和输出叉指换能器，构成一个复合谐振器结构，用于检测输入叉指换能器所发射的表面声波波束中因波束偏向、衍射而形成的散射波束。

主权项

1.一种表面声波波束散射检测芯片，其特征是：包括压电基片(1)，制作于压电基片(1)表面的第一输入叉指换能器(21)、第二输入叉指换能器(22)、第三输入叉指换能器(23)、第四输入叉指换能器(24)、第一输出叉指换能器(31)、第二输出叉指换能器(32)、第一短路反射器(41)、第二短路反射器(42)、第三短路反射器(43)、第四短路反射器(44)、内吸声胶胶膜(5)、第一外吸声胶胶膜(61)、第二外吸声胶胶膜(62)以及第一输入电极(71)、第二输入电极(72)、第一输出电极(81)、第二输出电极(81)和若干个接地电极(9)；所述内吸声胶胶膜(5)位于压电基片(1)顶面正中；所述第一输出叉指换能器(31)位于内吸声胶胶膜(5)的上侧，第二输出叉指换能器(32)位于内吸声胶胶膜(5)的下侧；所述第一输入叉指换能器(21)位于内吸声胶胶膜(5)的左上侧，第三输入叉指换能器(23)位于内吸声胶胶膜(5)的左下侧，第二输入叉指换能器(22)位于内吸声胶胶膜的右上侧，第四输入叉指换能器(24)位于内吸声胶胶膜(5)的右下侧；所述第一短路反射器(41)位于第一输出叉指换能器(31)的左侧，第二短路反射器(42)位于第一输出叉指换能器(31)的右侧，第三短路反射器(43)位于第二输出叉指换能器(32)的左侧，第四短路反射器(44)位于第二输出叉指换能器(32)的右侧；所述第一外吸声胶胶膜(61)位于第一输入叉指换能器(21)和第三输入叉指换能器(23)的左侧，第二外吸声胶胶膜(62)位于第二输入叉指换能器(22)和第四输入叉指换能器(24)的右侧；所述第一输入叉指换能器(21)、第二输入叉指换能器(22)、第三输入叉指换能器(23)、第四输入叉指换能器(24)均包括1组第一输入叉指指条(211)、1组第二输入叉指指条(212)、输入信号汇流电极(213)和输入接地汇流电极(214)，所述各个第一输入叉指指条(211)、第二输入叉指指条(212)呈周期排列且第一输入叉指指条（211）与第二输入叉指指条（212）相间交错排列，各个第一输入叉指指条（211）与相邻的各个第二输入叉指指条（212）相互重叠的区域为输入叉指换能器有效指区域(215)，所述各个第一输入叉指指条（211）的一端汇接至输入信号汇流电极(213)，另一端向输入接地汇流电极(214)延伸并与输入接地汇流电极(214)保持适当宽度的间隙，所述各个第二输入叉指指条（212）的一端汇接至输入接地汇流电极(214)，另一端向输入信号汇流电极(213)延伸并与输入信号汇流电极(213)保持适当宽度的间隙，所述输入信号汇流电极(213)与输入接地汇流电极(214)平行相对设置；所述第一输出叉指换能器(31)、第二输出叉指换能器(32)均包括1组第一输出叉指指条(311)、1组第二输出叉指指条(312)、输出信号汇流电极(313)和输出接地汇流电极(314)，所述各个第一输出叉指指条(311)、第二输出叉指指条(312)呈周期排列且第一输出叉指指条（311）与第二输出叉指指条（312）相间交错排列，各个第一输出叉指指条（311）与相邻的各个第二输出叉指指条（312）相互重叠的区域为输出叉指换能器有效指区域(315)，所述各个第一输出叉指指条（311）的一端汇接至输出信号汇流电极(313)，另一端向输出接地汇流电极(314)延伸并与输出接地汇流电极(314)保持适当宽度的间隙，所述各个第二输出叉指指条（312）的一端汇接至输出接地汇流电极(314)，另一端向输出信号汇流电极(313)延伸并与输出信号汇流电极(313)保持适当宽度的间隙，所述输出信号汇流电极(313)与输出接地汇流电极(314)平行相对设置；所述第一短路反射器(41)、第二短路反射器(42)、第三短路反射器(43)、第四短路反射器(44)均包括1组周期排列的反射指指条(411)以及1个反射器内侧接地汇流电极(412)、1个反射器外侧接地汇流电极(413)，所述各个反射指指条(411)的两端分别汇接于反射器内侧接地汇流电极(412)和反射器外侧接地汇流电极(413)，所述反射器内侧接地汇流电极(412)与反射器外侧接地汇流电极(413)平行相对设置；所述第一输入叉指换能器（21）和第三输入叉指换能器（23）背向相连，第一输入叉指换能器（21）和第三输入叉指换能器（23）共用1个输入信号汇流电极（213），对应的各组第一输入叉指指条（211）、第二输入叉指指条（212）相对于共用的输入信号汇流电极（213）背向对称排布，所述共用的输入信号汇流电极（213）与其左侧的第一输入电极(71)相连；所述第一输入叉指换能器（21）的输入接地汇流电极(214)同时用作第一短路反射器（41）的反射器内侧接地汇流电极（412），所述第三输入叉指换能器（23）的输入接地汇流电极（214）同时用作第三短路反射器（43）的反射器内侧接地汇流电极（412），所述各个共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的宽度不大于一根第一输入叉指指条（211）、第二输入叉指指条（212）的宽度或者一根反射指指条（411）的宽度，所述各个共用的输入接地汇流电极（214) 、反射器内侧接地汇流电极（412）分别与其左侧的接地电极（9）相连；所述第二输入叉指换能器（22）和第四输入叉指换能器（24）背向相连，第二输入叉指换能器（22）和第四输入叉指换能器（24）共用1个输入信号汇流电极（213），对应的各组第一输入叉指指条（211）、第二输入叉指指条（212）相对于共用的输入信号汇流电极（213）背向对称排布，所述共用的输入信号汇流电极（213）与其右侧的第二输入电极（72）相连；所述第二输入叉指换能器（22）的输入接地汇流电极（214）同时用作第二短路反射器（42）的反射器内侧接地汇流电极（412），所述第四输入叉指换能器（24）的输入接地汇流电极（214）同时用作第四短路反射器（44）的反射器内侧接地汇流电极（412），所述各个共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的宽度不大于一根第一输入叉指指条（211）、第二输入叉指指条（212）的宽度或者一根反射指指条（411）的宽度，所述各个共用的输入接地汇流电极（214) 、反射器内侧接地汇流电极（412）分别与其右侧的接地电极（9）相连；所述第一输出叉指换能器（31）的输出叉指换能器有效指区域（315）的下沿与第一输入叉指换能器（21）的输入叉指换能器有效指区域（215）和第二输入叉指换能器（22）的输入叉指换能器有效指区域（215）的上沿平齐，所述第一输出叉指换能器（31）的输出信号汇流电极（313）与其上侧的第一输出电极（81）相连，所述第一输出叉指换能器（31）的输出接地汇流电极（314）的左端与第一输入叉指换能器（21）和第一短路反射器（41）共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的右端相连，所述第一输出叉指换能器（31）的输出接地汇流电极（314）的右端与第二输入叉指换能器（22）和第二短路反射器（42）共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的左端相连；所述第二输出叉指换能器（32）的输出叉指换能器有效指区域（315）的上沿与第三输入叉指换能器（23）的输入叉指换能器有效指区域（215）和第四输入叉指换能器（24）的输入叉指换能器有效指区域（215）的下沿平齐，所述第二输出叉指换能器（32）的输出信号汇流电极（313）与其下侧的第二输出电极（82）相连，所述第二输出叉指换能器（32）的输出接地汇流电极（314）的左端与第三输入叉指换能器（23）和第三短路反射器（43）共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的右端相连，所述第二输出叉指换能器（32）的输出接地汇流电极（314）的右端与第四输入叉指换能器（24）和第四短路反射器（44）共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的左端相连；所述第一短路反射器（41）的反射器内侧接地汇流电极（412）同时用作第一输入叉指换能器（21）的输入接地汇流电极（214），所述第二短路反射器（42）的反射器内侧接地汇流电极（412）同时用作第二输入叉指换能器（22）的输入接地汇流电极（214），所述第三短路反射器（43）的反射器内侧接地汇流电极（412）同时用作第三输入叉指换能器（23）的输入接地汇流电极（214），所述第四短路反射器（44）的反射器内侧接地汇流电极（412）同时用作第四输入叉指换能器（24）的输入接地汇流电极（214），所述各个共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的宽度不大于一根第一输入叉指指条（211）、第二输入叉指指条（212）、第一输出叉指指条（311）、第二输出叉指指条（312）的宽度或者一根反射指指条（411）的宽度，所述各个共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）分别与其外侧的接地电极（9）相连，所述各个第一短路反射器（41）、第二短路反射器（42）、第三短路反射器（43）、第四短路反射器（44）的反射器外侧接地汇流电极（413）与其外侧的接地电极（9）相连；所述内吸声胶胶膜（5）为矩形，所述内吸声胶胶膜（5）的左端与第一输入叉指换能器（21）和第三输入叉指换能器（23）的右端相间一个第一输入叉指指条（211）或第二输入叉指指条（212）或第一输出叉指指条（311）或第二输出叉指指条（312）的宽度，其右端与第二输入叉指换能器（22）和第四输入叉指换能器（24）的左端相间一个第一输入叉指指条（211）或第二输入叉指指条（212）或第一输出叉指指条（311）或第二输出叉指指条（312）的宽度，其上端与第一输入叉指换能器（21）的输入叉指换能器有效指区域（215）和第二输入叉指换能器（22）的输入叉指换能器有效指区域（215）的上沿平齐，其下端与第一输入叉指换能器（21）的输入叉指换能器有效指区域（215）和第二输入叉指换能器（22）的输入叉指换能器有效指区域（215）的下沿平齐；所述第一外吸声胶胶膜(61)、第二外吸声胶胶膜(62)为同形的矩形，所述第一外吸声胶胶膜(61)的右端与第一输入叉指换能器（21）和第三输入叉指换能器（23）的左端相间一个第一输入叉指指条（211）或第二输入叉指指条（212）或第一输出叉指指条（311）或第二输出叉指指条（312）的宽度，其左端与第一短路反射器（41）和第三短路反射器（43）的左端平齐，其上端与第一短路反射器（41）的反射器内侧接地汇流电极（412）的下沿平齐，其下端与第三短路反射器（43）的反射器内侧接地汇流电极（412）的上沿平齐；所述第二外吸声胶胶膜（62）的左端与第二输入叉指换能器（22）和第四输入叉指换能器（24）的右端相间一个第一输入叉指指条（211）或第二输入叉指指条（212）或第一输出叉指指条（311）或第二输出叉指指条（312）的宽度，其右端与第二短路反射器（42）和第四短路反射器（44）的右端平齐，其上端与第二短路反射器（42）的反射器内侧接地汇流电极（412）的下沿平齐，其下端与第四短路反射器（44）的反射器内侧接地汇流电极（412）的上沿平齐；所述第一输入电极（71）与其两侧的接地电极（9）组成第一输入端口，所述第二输入电极（72）与其两侧的接地电极（9）组成第二输入端口，所述第一输出电极（71）与其两侧的接地电极（9）组成第一输出端口，所述第二输出电极（72）与其两侧的接地电极（9）组成第二输出端口。