[发明专利]一种表面声波波束散射检测芯片

权利要求书

1.一种表面声波波束散射检测芯片，其特征是：

包括压电基片(1)，制作于压电基片(1)表面的第一输入叉指换能器(21)、第二输入叉指换能器(22)、第三输入叉指换能器(23)、第四输入叉指换能器(24)、第一输出叉指换能器(31)、第二输出叉指换能器(32)、第一短路反射器(41)、第二短路反射器(42)、第三短路反射器(43)、第四短路反射器(44)、内吸声胶胶膜(5)、第一外吸声胶胶膜(61)、第二外吸声胶胶膜(62)以及第一输入电极(71)、第二输入电极(72)、第一输出电极(81)、第二输出电极(81)和若干个接地电极(9)；

所述内吸声胶胶膜(5)位于压电基片(1)顶面正中；所述第一输出叉指换能器(31)位于内吸声胶胶膜(5)的上侧，第二输出叉指换能器(32)位于内吸声胶胶膜(5)的下侧；所述第一输入叉指换能器(21)位于内吸声胶胶膜(5)的左上侧，第三输入叉指换能器(23)位于内吸声胶胶膜(5)的左下侧，第二输入叉指换能器(22)位于内吸声胶胶膜的右上侧，第四输入叉指换能器(24)位于内吸声胶胶膜(5)的右下侧；所述第一短路反射器(41)位于第一输出叉指换能器(31)的左侧，第二短路反射器(42)位于第一输出叉指换能器(31)的右侧，第三短路反射器(43)位于第二输出叉指换能器(32)的左侧，第四短路反射器(44)位于第二输出叉指换能器(32)的右侧；所述第一外吸声胶胶膜(61)位于第一输入叉指换能器(21)和第三输入叉指换能器(23)的左侧，第二外吸声胶胶膜(62)位于第二输入叉指换能器(22)和第四输入叉指换能器(24)的右侧；

所述第一输入叉指换能器(21)、第二输入叉指换能器(22)、第三输入叉指换能器(23)、第四输入叉指换能器(24)均包括1组第一输入叉指指条(211)、1组第二输入叉指指条(212)、输入信号汇流电极(213)和输入接地汇流电极(214)，所述各个第一输入叉指指条(211)、第二输入叉指指条(212)呈周期排列且第一输入叉指指条（211）与第二输入叉指指条（212）相间交错排列，各个第一输入叉指指条（211）与相邻的各个第二输入叉指指条（212）相互重叠的区域为输入叉指换能器有效指区域(215)，所述各个第一输入叉指指条（211）的一端汇接至输入信号汇流电极(213)，另一端向输入接地汇流电极(214)延伸并与输入接地汇流电极(214)保持适当宽度的间隙，所述各个第二输入叉指指条（212）的一端汇接至输入接地汇流电极(214)，另一端向输入信号汇流电极(213)延伸并与输入信号汇流电极(213)保持适当宽度的间隙，所述输入信号汇流电极(213)与输入接地汇流电极(214)平行相对设置；

所述第一输出叉指换能器(31)、第二输出叉指换能器(32)均包括1组第一输出叉指指条(311)、1组第二输出叉指指条(312)、输出信号汇流电极(313)和输出接地汇流电极(314)，所述各个第一输出叉指指条(311)、第二输出叉指指条(312)呈周期排列且第一输出叉指指条（311）与第二输出叉指指条（312）相间交错排列，各个第一输出叉指指条（311）与相邻的各个第二输出叉指指条（312）相互重叠的区域为输出叉指换能器有效指区域(315)，所述各个第一输出叉指指条（311）的一端汇接至输出信号汇流电极(313)，另一端向输出接地汇流电极(314)延伸并与输出接地汇流电极(314)保持适当宽度的间隙，所述各个第二输出叉指指条（312）的一端汇接至输出接地汇流电极(314)，另一端向输出信号汇流电极(313)延伸并与输出信号汇流电极(313)保持适当宽度的间隙，所述输出信号汇流电极(313)与输出接地汇流电极(314)平行相对设置；

所述第一短路反射器(41)、第二短路反射器(42)、第三短路反射器(43)、第四短路反射器(44)均包括1组周期排列的反射指指条(411)以及1个反射器内侧接地汇流电极(412)、1个反射器外侧接地汇流电极(413)，所述各个反射指指条(411)的两端分别汇接于反射器内侧接地汇流电极(412)和反射器外侧接地汇流电极(413)，所述反射器内侧接地汇流电极(412)与反射器外侧接地汇流电极(413)平行相对设置；

所述第一输入叉指换能器（21）和第三输入叉指换能器（23）背向相连，第一输入叉指换能器（21）和第三输入叉指换能器（23）共用1个输入信号汇流电极（213），对应的各组第一输入叉指指条（211）、第二输入叉指指条（212）相对于共用的输入信号汇流电极（213）背向对称排布，所述共用的输入信号汇流电极（213）与其左侧的第一输入电极(71)相连；所述第一输入叉指换能器（21）的输入接地汇流电极(214)同时用作第一短路反射器（41）的反射器内侧接地汇流电极（412），所述第三输入叉指换能器（23）的输入接地汇流电极（214）同时用作第三短路反射器（43）的反射器内侧接地汇流电极（412），所述各个共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的宽度不大于一根第一输入叉指指条（211）、第二输入叉指指条（212）的宽度或者一根反射指指条（411）的宽度，所述各个共用的输入接地汇流电极（214) 、反射器内侧接地汇流电极（412）分别与其左侧的接地电极（9）相连；

所述第二输入叉指换能器（22）和第四输入叉指换能器（24）背向相连，第二输入叉指换能器（22）和第四输入叉指换能器（24）共用1个输入信号汇流电极（213），对应的各组第一输入叉指指条（211）、第二输入叉指指条（212）相对于共用的输入信号汇流电极（213）背向对称排布，所述共用的输入信号汇流电极（213）与其右侧的第二输入电极（72）相连；所述第二输入叉指换能器（22）的输入接地汇流电极（214）同时用作第二短路反射器（42）的反射器内侧接地汇流电极（412），所述第四输入叉指换能器（24）的输入接地汇流电极（214）同时用作第四短路反射器（44）的反射器内侧接地汇流电极（412），所述各个共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的宽度不大于一根第一输入叉指指条（211）、第二输入叉指指条（212）的宽度或者一根反射指指条（411）的宽度，所述各个共用的输入接地汇流电极（214) 、反射器内侧接地汇流电极（412）分别与其右侧的接地电极（9）相连；

所述第一输出叉指换能器（31）的输出叉指换能器有效指区域（315）的下沿与第一输入叉指换能器（21）的输入叉指换能器有效指区域（215）和第二输入叉指换能器（22）的输入叉指换能器有效指区域（215）的上沿平齐，所述第一输出叉指换能器（31）的输出信号汇流电极（313）与其上侧的第一输出电极（81）相连，所述第一输出叉指换能器（31）的输出接地汇流电极（314）的左端与第一输入叉指换能器（21）和第一短路反射器（41）共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的右端相连，所述第一输出叉指换能器（31）的输出接地汇流电极（314）的右端与第二输入叉指换能器（22）和第二短路反射器（42）共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的左端相连；

所述第二输出叉指换能器（32）的输出叉指换能器有效指区域（315）的上沿与第三输入叉指换能器（23）的输入叉指换能器有效指区域（215）和第四输入叉指换能器（24）的输入叉指换能器有效指区域（215）的下沿平齐，所述第二输出叉指换能器（32）的输出信号汇流电极（313）与其下侧的第二输出电极（82）相连，所述第二输出叉指换能器（32）的输出接地汇流电极（314）的左端与第三输入叉指换能器（23）和第三短路反射器（43）共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的右端相连，所述第二输出叉指换能器（32）的输出接地汇流电极（314）的右端与第四输入叉指换能器（24）和第四短路反射器（44）共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的左端相连；

所述第一短路反射器（41）的反射器内侧接地汇流电极（412）同时用作第一输入叉指换能器（21）的输入接地汇流电极（214），所述第二短路反射器（42）的反射器内侧接地汇流电极（412）同时用作第二输入叉指换能器（22）的输入接地汇流电极（214），所述第三短路反射器（43）的反射器内侧接地汇流电极（412）同时用作第三输入叉指换能器（23）的输入接地汇流电极（214），所述第四短路反射器（44）的反射器内侧接地汇流电极（412）同时用作第四输入叉指换能器（24）的输入接地汇流电极（214），所述各个共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）的宽度不大于一根第一输入叉指指条（211）、第二输入叉指指条（212）、第一输出叉指指条（311）、第二输出叉指指条（312）的宽度或者一根反射指指条（411）的宽度，所述各个共用的输入接地汇流电极（214）、反射器内侧接地汇流电极（412）分别与其外侧的接地电极（9）相连，所述各个第一短路反射器（41）、第二短路反射器（42）、第三短路反射器（43）、第四短路反射器（44）的反射器外侧接地汇流电极（413）与其外侧的接地电极（9）相连；

所述内吸声胶胶膜（5）为矩形，所述内吸声胶胶膜（5）的左端与第一输入叉指换能器（21）和第三输入叉指换能器（23）的右端相间一个第一输入叉指指条（211）或第二输入叉指指条（212）或第一输出叉指指条（311）或第二输出叉指指条（312）的宽度，其右端与第二输入叉指换能器（22）和第四输入叉指换能器（24）的左端相间一个第一输入叉指指条（211）或第二输入叉指指条（212）或第一输出叉指指条（311）或第二输出叉指指条（312）的宽度，其上端与第一输入叉指换能器（21）的输入叉指换能器有效指区域（215）和第二输入叉指换能器（22）的输入叉指换能器有效指区域（215）的上沿平齐，其下端与第三输入叉指换能器（23）的输入叉指换能器有效指区域（215）和第四输入叉指换能器（24）的输入叉指换能器有效指区域（215）的下沿平齐；

所述第一外吸声胶胶膜(61)、第二外吸声胶胶膜(62)为同形的矩形，所述第一外吸声胶胶膜(61)的右端与第一输入叉指换能器（21）和第三输入叉指换能器（23）的左端相间一个第一输入叉指指条（211）或第二输入叉指指条（212）或第一输出叉指指条（311）或第二输出叉指指条（312）的宽度，其左端与第一短路反射器（41）和第三短路反射器（43）的左端平齐，其上端与第一短路反射器（41）的反射器内侧接地汇流电极（412）的下沿平齐，其下端与第三短路反射器（43）的反射器内侧接地汇流电极（412）的上沿平齐；所述第二外吸声胶胶膜（62）的左端与第二输入叉指换能器（22）和第四输入叉指换能器（24）的右端相间一个第一输入叉指指条（211）或第二输入叉指指条（212）或第一输出叉指指条（311）或第二输出叉指指条（312）的宽度，其右端与第二短路反射器（42）和第四短路反射器（44）的右端平齐，其上端与第二短路反射器（42）的反射器内侧接地汇流电极（412）的下沿平齐，其下端与第四短路反射器（44）的反射器内侧接地汇流电极（412）的上沿平齐；

所述第一输入电极（71）与其两侧的接地电极（9）组成第一输入端口，所述第二输入电极（872）与其两侧的接地电极（9）组成第二输入端口，所述第一输出电极（81）与其两侧的接地电极（9）组成第一输出端口，所述第二输出电极（82）与其两侧的接地电极（9）组成第二输出端口。