[发明专利]一种材料表面处理气体喷射装置在审
申请号: | 201910690378.1 | 申请日: | 2019-07-29 |
公开(公告)号: | CN110331383A | 公开(公告)日: | 2019-10-15 |
发明(设计)人: | 陈静升;郭鸿晨;许淘元;李瑞斌;贾培军;赵超;崔东旭 | 申请(专利权)人: | 陕西煤业化工技术研究院有限责任公司;郭鸿晨 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/54 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李红霖 |
地址: | 710077 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种材料表面处理气体喷射装置,包括:喷头,所述喷头与待处理材料间隔形成封装区;所述喷头包括:喷头体,气体闭锁循环系统,所述的气体闭锁循环系统设置在喷头体内部,其包括用于运输工作气体的回气系统和进气系统;封装工作面,所述的封装工作面设置在喷头体表面;所述的封装工作面具有多个沿线性排布的排气孔,排气孔与所述进气系统连接用于将携带反应物分子的工作气体射流在所述封装区内形成均匀的气体薄层,并在待处理材料表面上形成封装层;及气体回收槽,气体回收槽的末端与回气系统连接。本发明实现工业级柔性高分子聚合物连续表面处理,尤其是在常压气相条件下的量产化封装连续处理作业能力。 | ||
搜索关键词: | 喷头 封装 材料表面处理 气体喷射装置 待处理材料 工作气体 回气系统 进气系统 气体回收 循环系统 排气孔 闭锁 柔性高分子聚合物 反应物分子 喷头体表面 连续表面 连续处理 作业能力 封装层 封装区 工业级 喷头体 体内部 薄层 量产 排布 射流 压气 携带 运输 | ||
【主权项】:
1.一种材料表面处理气体喷射装置,其特征在于,包括:喷头(100),所述喷头(100)与待处理材料(200)间隔形成封装区(300);所述喷头(100)包括:喷头体,气体闭锁循环系统,所述的气体闭锁循环系统设置在喷头体内部,其包括用于运输工作气体的回气系统和进气系统;封装工作面(105),所述的封装工作面(105)设置在喷头体表面,且封装工作面(105)与待处理材料(200)表面相对设置;所述的封装工作面(105)具有多个沿线性排布的排气孔(1052),排气孔(1052)与所述进气系统连接用于将携带反应物分子的工作气体射流在所述封装区(300)内形成均匀的气体薄层,并在待处理材料(200)表面上形成封装层(400);及气体回收槽(1055),气体回收槽(1055)设置在封装工作面(105)上,且气体回收槽(1055)的末端与回气系统连接用于回收反应后的气体。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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