[发明专利]一种负胶剥离液、其制备方法及应用在审
| 申请号： | 201910679316.0 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN110262199A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 王溯;蒋闯;冯强强;王亮 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;张玉莹 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种负胶剥离液、其制备方法及应用。所述的负胶剥离液，其原料包括下列组分：季铵碱、烷醇胺、缓蚀剂、直链酰胺类有机溶剂、砜类和/或亚砜类有机溶剂、醇醚类有机溶剂、烷酮类有机溶剂、PO‑EO‑乙烯基二元胺共聚物和余量的水，各组分质量分数之和为100％，所述的PO‑EO‑乙烯基二元胺共聚物为Tetronic 1107、Tetronic 1301和Tetronic 1307中的一种或多种。本发明的负胶剥离液在具有好的剥离性能的情况下，对其他多种材料不构成破坏性腐蚀，具有高的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离液 负胶 有机溶剂 二元胺 共聚物 乙烯基 制备 应用 醇醚类有机溶剂 酰胺类有机溶剂 剥离性能 质量分数 缓蚀剂 季铵碱 烷醇胺 烷酮类 亚砜类 直链 砜类 腐蚀 | ||
【主权项】：
1.一种负胶剥离液，其特征在于，其原料包括下列质量分数的组分：1.00％‑5.00％的季铵碱、5.00％‑40.00％的烷醇胺、0.10％‑8.00％的缓蚀剂、10.00‑30.00％的直链酰胺类有机溶剂、5.00‑25.00％的砜类和/或亚砜类有机溶剂、15.00％‑30.00％的醇醚类有机溶剂、5.00％‑15.00％的烷酮类有机溶剂、0.01％‑2.00％的PO‑EO‑乙烯基二元胺共聚物和余量的水，各组分质量分数之和为100％，所述的PO‑EO‑乙烯基二元胺共聚物为Tetronic 1107、Tetronic 1301和Tetronic 1307中的一种或多种。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新阳半导体材料股份有限公司，未经上海新阳半导体材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910679316.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
