[发明专利]一种TFT驱动背板及Micro-LED显示器在审
| 申请号： | 201910671388.0 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110416225A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 李恭檀;徐铉植 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/12 | 分类号： | H01L27/12;H01L27/15;H01L29/786;H01L21/77 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭露一种TFT驱动背板及Micro‑LED显示器，通过采用高迁移率氧化物薄膜晶体管驱动背板结构，可以实现满足大尺寸Micro‑LED显示需求；采用在衬底基板的下方制备背面金属层，背面金属层包括用于连接驱动芯片的金属走线层，以及用于阻挡环境光的金属光阻挡层，减少了大尺寸的Micro‑LED应用中面板拼接时的边框，且在制备薄膜晶体管的时候可以节省原有的金属遮光层的沉积和图形化步骤，减少了制备TFT驱动背板时的工艺步骤，节约制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动背板 制备 背面金属层 氧化物薄膜晶体管 边框 薄膜晶体管 金属遮光层 金属走线层 图形化步骤 衬底基板 高迁移率 工艺步骤 光阻挡层 驱动芯片 环境光 原有的 中面板 沉积 拼接 显示器 阻挡 金属 节约 应用 | ||
【主权项】：
1.一种TFT驱动背板，所述TFT驱动背板包括一衬底基板；其特征在于，所述衬底基板的上方设有一有源层，所述有源层采用迁移率大于或等于30cm2/Vs的氧化物半导体材料制备；所述衬底基板的下方设有一背面金属层，所述背面金属层包括一金属光阻挡层，所述金属光阻挡层相对于所述有源层设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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