[发明专利]压力传感器在审
| 申请号： | 201910670884.4 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110779638A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 东条博史;德田智久;木田希 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L9/04 |
| 代理公司： | 31300 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种高灵敏度的压力传感器，其能够减小输出值的迟滞，并且能够用保护膜可靠地覆盖并保护表面。该压力传感器具备具有压敏部(11)的膜片(3)。压敏部(11)通过在下表面(11a)(表面和背面中的一个)形成凹部(13)而分成厚度厚的区域(B)和薄的区域。在压敏部(11)的厚度厚的区域(B)，即在未形成有凹部(13)的上表面(11b)，设有包括压阻元件的传感器应变片(21)。 | ||
| 搜索关键词： | 压敏部 压力传感器 凹部 传感器应变片 高灵敏度 压阻元件 保护膜 上表面 迟滞 减小 膜片 背面 输出 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，/n具备具有压敏部的膜片，/n所述压敏部通过在表面和背面中的一个上形成第一凹部而分成厚度厚的区域和厚度薄的区域，/n在所述压敏部的厚度厚的区域，即在表面和背面中未形成所述第一凹部的面上，设有包括压阻元件的传感器应变片。/n
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