[发明专利]压力传感器在审
| 申请号： | 201910670884.4 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110779638A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 东条博史;德田智久;木田希 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L9/04 |
| 代理公司： | 31300 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压敏部 压力传感器 凹部 传感器应变片 高灵敏度 压阻元件 保护膜 上表面 迟滞 减小 膜片 背面 输出 覆盖 | ||
【权利要求书】：
1.一种压力传感器，其特征在于，
具备具有压敏部的膜片，
所述压敏部通过在表面和背面中的一个上形成第一凹部而分成厚度厚的区域和厚度薄的区域，
在所述压敏部的厚度厚的区域，即在表面和背面中未形成所述第一凹部的面上，设有包括压阻元件的传感器应变片。
2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，
从所述膜片的厚度方向观察，所述厚度厚的区域形成为连结所述压敏部的中心与远离所述中心的多个端部的形状，
从所述膜片的厚度方向观察，所述多个端部形成为大于所述传感器应变片的形成范围，
所述传感器应变片分别设置于所述多个端部。
3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，
从所述膜片的厚度方向观察，所述厚度厚的区域中未设置所述传感器应变片的部分形成为比设有所述传感器应变片的部分细。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的压力传感器，其特征在于，
还具备与所述膜片的未形成所述第一凹部的面接合的止动部件，
所述止动部件在与所述压敏部相对的部位具有通过凹曲面形成的第二凹部，
所述第二凹部形成为与变形后的所述压敏部匹配的形状。
5.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于，
所述止动部件具有将所述第二凹部的内外连通的连通孔，
所述压敏部形成为通过变形使所述厚度厚的区域与所述连通孔重合。
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