[发明专利]一种自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统及方法有效
| 申请号： | 201910670241.X | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110436406B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 方绍熙;王德强;殷博华;何石轩;谢婉谊;周大明;王赟姣;唐鹏;石彪;梁丽媛;王亮;周硕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 赵景焕 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统及方法，所述自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统的整个过程采用自动化系统控制，实现固态纳米孔的自动化制备，固态纳米孔阵列制备，进而实现固态纳米孔相关检测应用。纳米孔的扩孔程序采用PID等控制算法控制扩孔电压和扩孔时间的变化，提高了打孔效率和孔径精度；整个纳米孔制备过程采用原位在线的方式，与后期纳米孔测试无缝链接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 精确 定位 制备 固态 纳米 阵列 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统，其整个过程采用自动化系统控制，实现固态纳米孔的自动化制备，固态纳米孔阵列制备，进而实现固态纳米孔相关检测应用。
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