[发明专利]一种自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统及方法

权利要求书

1.一种自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统，其特征在于，所述自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统包括纳米薄膜芯片（1）、缓冲池（2）、纳米操控台（3）、第一三维微操控平台（4）、光源（5）、显微镜（6）、玻璃微管（7）、玻璃微管夹持器（8）、第二三维微操控平台（9）、法拉第屏蔽罩（10）、IV扫描模块（11）及控制系统（12），所述纳米薄膜芯片（1）安放在缓冲池（2）中并构成上下结构的腔室；缓冲池（2）设置有接入下腔室的氯化银/银电极接口；缓冲池（2）固定在纳米操控台（3）上；所述纳米操控台（3）为采用压电陶瓷控制的高精度纳米操控台，通过电路连接到控制系统（12），通过设置参数进行实时控制；所述纳米操控台（3）固定在第一三维微操控平台（4）上；所述第一三维微操控平台及第二三维微操控平台电路上连接到控制系统（12），通过设置参数实时控制；所述第一三维微操控平台及第二三维微操控平台机械上固定在常用的防震平台上；光源（5）和显微镜（6）电路上连接到控制系统，通过设置参数调节光源亮度，观察显微镜图像；光源（5）和显微镜（6）机械上固定在与第一三维微操控平台及第二三维微操控平台同样的防震平台上；玻璃微管（7）夹持在玻璃微管夹持器（8）上，位于纳米薄膜芯片（1）的正上方；玻璃微管（7）中注有缓冲池（2）下腔室同样的缓冲溶液LiCl，并连接有氯化银/银电极，与缓冲池（2）下腔室的电极一起连接到IV扫描模块（11）；玻璃微管夹持器机械上固定在第二三维微操控平台（9）上；法拉第屏蔽罩（10）安放在防震平台上，并保证与防震平台金属导电面的电气连接，将自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统置于该屏蔽罩所构建的空间中。

2.根据权利要求1所述的自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统，其特征在于，纳米操控台（3）通过螺丝固定在第一三维微操控平台（4）上。

3.根据权利要求2所述的自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统，其特征在于，法拉第屏蔽罩（10）采用铝合金材料制造。

4.根据权利要求1所述的自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统，其特征在于，法拉第屏蔽罩尺寸为500mm*700mm*500mm的长方体壳。

5.根据权利要求1所述的自动精确定位制备固态纳米孔阵列的系统，其特征在于，缓冲池（2）通过螺丝固定在纳米操控台（3）上。