[发明专利]气体分析仪和气体分析方法有效

专利信息
申请号: 201910657408.9 申请日: 2019-07-19
公开(公告)号: CN110736713B 公开(公告)日: 2022-05-17
发明(设计)人: 西蒙尼·伊莎贝尔·鲁普 申请(专利权)人: 西门子股份公司
主分类号: G01N21/3504 分类号: G01N21/3504;G01N21/01
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 张英
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种气体分析仪和气体分析方法,其中,至少两个不同的辐射源的射束耦入到一个包含测量气体的赫里奥特池中,并且在多次反射以后与其耦出并被探测到,其中,射束被定向成,使得它们以沿着椭圆延伸的光斑图案(20、21、22)投落到镜(例如5)上,其中:相互嵌套地位于一共同的对称轴线上的椭圆具有两个共同顶点(例如24)并且还具有不同的顶点;来自至少两个不同辐射源的射束在配属的光斑图案(20、21、22)的不同位置(29、30、31)处耦入到赫里奥特池中,并且/或者,耦入到赫里奥特池中,使得它们沿着椭圆在相反方向上经历配属的光斑图案(20、21、22);并且所有的射束在其中一个共同的顶点(24)的位置处耦出。
搜索关键词: 气体 分析 方法
【主权项】:
1.一种气体分析仪,具有:至少两个不同的辐射源(10、11、12);一个探测器(14);和,包含测量气体(2)的、具有两个镜(5、6)的赫里奥特池(1),其中,所述辐射源(10、11、12)相关于所述赫里奥特池(1)被布置并定向成,使得从所述辐射源耦入到所述赫里奥特池(1)中并且在所述镜(5、6)之间反射的射束(7、8、9)以沿着椭圆(17、18、19;17’、18’、19’)延伸的光斑图案(20、21、22;20’、21’、22’)投落到所述镜(5、6)上,其中/n相互嵌套地位于一共同的对称轴线(23)上的所述椭圆(17、18、19;17’、18’、19’)具有两个共同顶点(24、25)并且还具有不同的顶点,/n来自至少两个不同的所述辐射源(10、11、12)的所述射束(7、8、9)/n在配属的所述光斑图案(20、21、22;20’、21’、22’)的不同位置(29、30、31)处进入到所述赫里奥特池(1)中,并且/或者/n进入到所述赫里奥特池(1)中,使得所述射束沿着所述椭圆(17、18、19;17’、18’、19’)在相反方向上经历配属的所述光斑图案(20、21、22;20’、21’、22’),/n所有的所述射束(7、8、9)在所述共同顶点(24、25;24’)之一的位置处离开所述赫里奥特池(1),并且投落到所述探测器(14)上,并且其中/n至少两个不同的所述辐射源(10、11、12)的所述射束(7、8、9)在所述赫里奥特池(1)中经历不同的路径长度。/n
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