[发明专利]定量LIBS激光系统及定量方法在审
| 申请号： | 201910639175.X | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN110296974A | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 薛岩 | 申请（专利权）人： | 钇斯特激光科技（天津）有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300367 天津市滨*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种定量LIBS激光系统及定量方法，属于激光诱导击穿光谱(LIBS)技术领域，包括激光器和光谱分析系统；其特征在于：激光器产生的激光依次通过扩束镜、光速调整模块后进入半透半返镜；半透半返镜的反射光路上设有激光聚焦镜A，半透半返镜的透射光路上设有激光聚焦镜B，激光聚焦镜A的输出光路上设有CCD合光镜片A，激光聚焦镜B的输出光路上设有CCD合光镜片B；光谱分析系统包括光谱分析系统A和光谱分析系统B；光谱分析系统A通过采样镜A获取未知待测样品的光谱信息；所述光谱分析系统B通过采样镜B获取已知待测样品的光谱信息；CCD摄像机依次通过显微镜、CCD合光镜片A采集未知待测样品的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱分析系统 激光聚焦镜 半透半返镜 待测样品 合光镜片 光谱信息 激光系统 激光器 采样镜 输出光 激光诱导击穿光谱 调整模块 反射光 扩束镜 透射光 光速 显微镜 激光 采集 | ||
【主权项】：
1.一种定量LIBS激光系统，包括激光器(1)和光谱分析系统；其特征在于：上述激光器(1)产生的激光依次通过扩束镜(4)、光速调整模块(5)后进入半透半返镜(3)；在上述半透半返镜(3)的反射光路上设置有激光聚焦镜A(6‑1)，在上述半透半返镜(3)的透射光路上设置有激光聚焦镜B(6‑2)，所述激光聚焦镜A(6‑1)的输出光路上设置有CCD合光镜片A(7‑1)，上述激光聚焦镜B(6‑2)的输出光路上设置有CCD合光镜片B(7‑2)；还包括：用于检测CCD合光镜片A(7‑1)上激光能量的能量探测光电二极管A(8‑1)；用于检测CCD合光镜片B(7‑2)上激光能量的能量探测光电二极管B(8‑2)；用于承载未知待测样品(11)的XYZ三维平移台A(12‑1)；用于承载已知待测样品(15)的XYZ三维平移台B(12‑2)；所述光谱分析系统包括光谱分析系统A(14‑1)和光谱分析系统B(14‑2)；所述光谱分析系统A(14‑1)通过采样镜A(13‑1)获取未知待测样品(11)的光谱信息；所述光谱分析系统B(14‑2)通过采样镜B(13‑2)获取已知待测样品(15)的光谱信息；CCD摄像机(10)依次通过显微镜(9)、CCD合光镜片A(7‑1)采集未知待测样品(11)的信息。
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