[发明专利]一种器件单粒子效应薄弱点测绘甄别装置及方法有效
| 申请号: | 201910634349.3 | 申请日: | 2019-07-15 |
| 公开(公告)号: | CN110470968B | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
| 发明(设计)人: | 朱翔;韩建伟;李悦;马英起;陈睿;上官士鹏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院国家空间科学中心 |
| 主分类号: | G01R31/265 | 分类号: | G01R31/265 |
| 代理公司: | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人: | 陈琳琳;杨青 |
| 地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明提出一种器件单粒子效应薄弱点测绘甄别装置及方法,所述装置包括:上位机控制模块(11)、单粒子翻转检测组件(13)、被测器件承载器(14)、三维移动平台(15)、可控脉冲激光发射器(16)、CCD组件(17)和工控机组件(12);所述上位机控制模块(11),用于将设置的移动位置区间和测试模式参数发送至工控机组件(12);还根据工控机组件(12)采集到的故障数据进行显示并绘图,获得被测器件发生单粒子效应时的敏感性与敏感区域;所述工控机组件(12),用于根据接收设置的参数形成移动控制指令,发送至单粒子翻转检测组件(13)以及控制三维移动平台(15);还将单粒子翻转状态数据和CCD图像上传至上位机控制模块(11)。本发明能够对待测器件发生单粒子效应时的物理位置和时间进行测绘甄别。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 器件 粒子 效应 薄弱 测绘 甄别 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种器件单粒子效应薄弱点测绘甄别装置,其特征在于,所述装置包括:上位机控制模块(11)、单粒子翻转检测组件(13)、被测器件承载器(14)、三维移动平台(15)、可控脉冲激光发射器(16)、CCD组件(17)和工控机组件(12);/n所述上位机控制模块(11),用于将设置的测绘单粒子效应薄弱点的移动位置区间和测试模式参数发送至工控机组件(12);还根据工控机组件(12)采集到的故障数据进行显示并绘图,存储数据,获得被测器件发生单粒子效应时的敏感性与敏感区域;/n所述工控机组件(12),用于根据接收设置的参数形成移动控制指令,发送至单粒子翻转检测组件(13)以及控制三维移动平台(15);还用于将单粒子翻转状态数据和CCD图像上传至上位机控制模块(11);/n所述三维移动平台(15),用于接收移动控制指令,按照移动控制指令移动至测试位置,发送脉冲信号至单粒子翻转检测组件(13);/n所述单粒子翻转检测组件(13),与被测器件承载器(14)相连,用于在接收脉冲信号后,发送触发信号给可控脉冲激光发射器(16),并检测激光辐照下被测器件的单粒子翻转状态,将采集到的单粒子翻转状态数据发送至工控机组件(12);/n所述可控脉冲激光发射器(16),用于根据触发信号发射可控脉冲激光,准确辐照被测器件承载器(14)上承载的被测器件;/n所述CCD组件(17),用于在三维移动平台(15)移动过程中采集被测器件衬底和可控脉冲激光聚焦位置的CCD图像,将CCD图像发送至工控机组件(12)。/n
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