[发明专利]一种器件单粒子效应薄弱点测绘甄别装置及方法

权利要求书

1.一种器件单粒子效应薄弱点测绘甄别装置，其特征在于，所述装置包括：上位机控制模块(11)、单粒子翻转检测组件(13)、被测器件承载器(14)、三维移动平台(15)、可控脉冲激光发射器(16)、CCD组件(17)和工控机组件(12)；

所述上位机控制模块(11)，用于将设置的测绘单粒子效应薄弱点的移动位置区间和测试模式参数发送至工控机组件(12)；还根据工控机组件(12)采集到的故障数据进行显示并绘图，存储数据，获得被测器件发生单粒子效应时的敏感性与敏感区域；

所述工控机组件(12)，用于根据接收设置的参数形成移动控制指令，发送至单粒子翻转检测组件(13)以及控制三维移动平台(15)；还用于将单粒子翻转状态数据和CCD图像上传至上位机控制模块(11)；

所述三维移动平台(15)，用于接收移动控制指令，按照移动控制指令移动至测试位置，发送脉冲信号至单粒子翻转检测组件(13)；

所述单粒子翻转检测组件(13)，与被测器件承载器(14)相连，用于在接收脉冲信号后，发送触发信号给可控脉冲激光发射器(16)，并检测激光辐照下被测器件的单粒子翻转状态，将采集到的单粒子翻转状态数据发送至工控机组件(12)；

所述可控脉冲激光发射器(16)，用于根据触发信号发射可控脉冲激光，准确辐照被测器件承载器(14)上承载的被测器件；

所述CCD组件(17)，用于在三维移动平台(15)移动过程中采集被测器件衬底和可控脉冲激光聚焦位置的CCD图像，将CCD图像发送至工控机组件(12)；

所述上位机控制模块(11)具体包括：登录单元、设置单元、控制单元、单粒子翻转记录单元和单粒子锁定记录单元以及单粒子瞬态记录单元；

所述登录单元，用于实现所述工控机组件(12)与三维移动平台(15)、CCD组件(17)和单粒子翻转检测组件(13)的网络连接；

所述设置单元，用于设置单粒子瞬态、单粒子锁定、单粒子翻转的状态和系统参数数据；

所述控制单元，用于进行CCD图像显示、图形显示、移动台移动和测试控制；

所述单粒子翻转记录单元，用于记录所述被测器件承载器(14)发生单粒子翻转时的脉冲激光计数、故障地址、原始数据、故障数据、发生故障时的坐标与时间以及统计的故障位数；

所述单粒子锁定记录单元，用于以二维图的形式实时显示获取到的电流和电压，记录所述被测器件承载器(14)发生单粒子锁定时的电压电流值、脉冲激光计数和发生故障时的坐标与时间；

所述单粒子瞬态记录单元，用于以二维图的形式实时显示获取到的通道数据，记录所述被测器件承载器(14)发生单粒子瞬态时的脉冲幅度、脉冲宽度、脉冲面积和发生故障时的坐标与时间。

2.根据权利要求1所述的器件单粒子效应薄弱点测绘甄别装置，其特征在于，所述设置单元具体包括：

单粒子瞬态设置子单元，用于设置触发模式、触发电平、水平偏移和采样率；

单粒子锁定设置子单元，用于设置闩锁电流、闩锁持续时间、闩锁恢复时间和重复次数；

单粒子翻转设置子单元，用于设置测试模式、移动方向、重写模式、起始地址、测试长度和测试内容；和

系统参数设置子单元，用于设置移动台扫描间隔、扫描速度、激光器频率、CCD曝光量和数据保存路径。

3.根据权利要求2所述的器件单粒子效应薄弱点测绘甄别装置，其特征在于，所述控制单元具体包括：CCD显示子单元、图形显示子单元、移动台控制子单元和测试控制子单元；

所述CCD显示子单元，用于通过CCD组件观测被测器件衬底和激光聚焦状态；

所述图形显示子单元，用于根据试验数据绘制二维和三维图形；

所述移动台控制子单元，用于在测试前对齐单元位置和焦点、设置测试区域的起点和终点；

测试控制子单元，用于设置手动或自动测试模式以及对单粒子锁定、单粒子瞬态和单粒子翻转的详情记录。