[发明专利]MEMS换能器及包括MEMS换能器的电容式麦克风有效
| 申请号： | 201910630595.1 | 申请日： | 2013-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110166915B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | C·R·詹金斯;T·胡克斯特拉;E·博伊德 | 申请（专利权）人： | 思睿逻辑国际半导体有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 关丽丽;郑建晖 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及MEMS换能器及包括MEMS换能器的电容式麦克风。本申请描述的换能器结构具有被支撑在第一容积和第二容积之间的柔性膜。该换能器结构包括与所述第一容积和第二容积中的至少一个连通的至少一个可变通气部结构，所述可变通气部结构包括至少一个可移动部，所述可移动部响应于该可移动部两侧的压力差而可移动，从而改变穿过所述通气部结构的流动路径的尺寸。该可变通气部可被形成为穿过该膜，且该可移动部可以是该膜的一部分，该部分由一个或多个通道限定，可被偏转远离所述膜的表面。该可变通气部优选地在正常压力差范围内闭合，而在高压力差下打开以提供该膜之上和之下的空气容积的更快速平衡。 | ||
| 搜索关键词： | mems 换能器 包括 电容 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS换能器，包括一个柔性膜，所述柔性膜被支撑在基底和背板之间，其中所述柔性膜覆在第一腔上，所述第一腔形成在所述基底中；其中所述换能器还包括位于所述基底中的至少一个端口，所述至少一个端口与所述腔连通且在所述第一腔和所述背板外侧的容积之间提供流动路径；其中可变通气部结构设置在所述流动路径中。
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