[发明专利]MEMS换能器及包括MEMS换能器的电容式麦克风

权利要求书

1.一种MEMS换能器，包括一个柔性膜，所述柔性膜被支撑在基底和背板之间，其中所述柔性膜覆在第一腔上，所述第一腔形成在所述基底中；

其中所述换能器还包括位于所述基底中的至少一个端口，所述至少一个端口与所述腔连通且在所述第一腔和所述背板外侧的容积之间提供流动路径；

其中可变通气部结构设置在所述流动路径中，且其中所述可变通气部结构包括至少一个可移动部，所述至少一个可移动部响应于所述可移动部两侧的压力差而可移动，从而改变穿过所述可变通气部结构的流动路径的尺寸。

2.如权利要求1所述的MEMS换能器，其中所述可变通气部结构形成在所述换能器的并非用于形成所述柔性膜的材料层的材料层中。

3.如权利要求1或2所述的MEMS换能器，其中所述可变通气部结构形成在所述换能器的用于形成所述柔性膜的材料层中。

4.如权利要求1或2所述的MEMS换能器，其中所述至少一个端口设置在所述柔性膜的区域的外侧。

5.如权利要求1或2所述的MEMS换能器，其中所述端口延伸穿过形成所述柔性膜的材料层。

6.如权利要求1或2所述的MEMS换能器，其中所述端口包括第一区段和第二区段，所述第一区段延伸穿过所述背板，且所述第二区段延伸穿过所述基底。

7.如权利要求6所述的MEMS换能器，其中所述第一区段和所述第二区段通过所述可变通气部结构分离开。

8.如权利要求1或2所述的MEMS换能器，其中所述背板包括至少一个孔，所述至少一个孔从位于所述柔性膜上方的第二腔延伸穿过所述背板至所述背板外侧的容积；且

其中所述端口提供所述第一腔和所述第二腔之间的流动路径。

9.如权利要求8所述的MEMS换能器，其中所述流动路径不延伸穿过所述柔性膜。

10.如权利要求1或2所述的MEMS换能器，其中所述可变通气部结构形成在设置于所述流动路径内的一个层中，且包括一个可移动部，所述可移动部响应于所述第一腔和所述背板外侧的容积之间的压力差而可移动，以暴露设置于所述流动路径内的所述层中的一个孔，所述可移动部包括设置于所述流动路径内的所述层中能够被偏转远离设置于所述流动路径内的所述层的其余部分的表面的一部分。

11.如权利要求1或2所述的MEMS换能器，其中所述流动路径延伸穿过所述换能器结构的一个侧壁的至少一部分。

12.一种电容式麦克风，所述电容式麦克风包括如权利要求1-11中的任一项中所述的MEMS换能器。