[发明专利]传送杆及扫描电镜有效
| 申请号： | 201910594287.8 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN110299275B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 张洪彬;杨瑞伟;王伯彦 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 杨冬梅;张行知 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种传送杆及扫描电镜，该传送杆包括：载体；夹取装置，设置在所述载体上；第一驱动装置，设置在所述载体上，用于驱动所述夹取装置动作，以便使所述夹取装置夹紧或松开样品台；第二驱动装置，与所述载体相接，用于驱动所述载体在第一方向和第二方向上运动，以便带动所述夹取装置在所述第一方向和所述第二方向上运动，使得所述夹取装置可以伸入或退出扫描电镜的真空仓，其中所述第一方向和所述第二方向相反。本发明提供的传送杆在进行送样和取样时，可以通过控制第一驱动装置来使夹取装置夹紧或松开样品台，通过控制第二驱动装置来驱动载体伸入或退出扫描电镜的真空仓，整个过程无需经过繁琐的操作、简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 扫描电镜 | ||
【主权项】：
1.一种传送杆，其特征在于，包括：载体；夹取装置，设置在所述载体上；第一驱动装置，设置在所述载体上，用于驱动所述夹取装置动作，以便使所述夹取装置夹紧或松开样品台；第二驱动装置，与所述载体相接，用于驱动所述载体在第一方向和第二方向上运动，以便带动所述夹取装置在所述第一方向和所述第二方向上运动，使得所述夹取装置可以伸入或退出扫描电镜的真空仓，其中所述第一方向和所述第二方向相反。
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