[发明专利]传送杆及扫描电镜

权利要求书

1.一种传送杆，其特征在于，包括：

载体；

夹取装置，设置在所述载体上，所述夹取装置包括固定部、活动部以及推杆，所述固定部固定设置在所述载体上，所述活动部可转动地设置在所述载体上，所述推杆与所述活动部转动连接，所述推杆相对所述活动部转动的轴线与所述活动部相对所述载体转动的轴线之间不同轴；

第一驱动装置，设置在所述载体上，所述推杆用于接收所述第一驱动装置的施力，以便推动所述活动部相对于所述载体转动，用于驱动所述夹取装置动作，以便使所述夹取装置夹紧或松开样品台；

第二驱动装置，与所述载体相接，用于驱动所述载体在第一方向和第二方向上运动，以便带动所述夹取装置在所述第一方向和所述第二方向上运动，使得所述夹取装置可以伸入或退出扫描电镜的真空仓，其中所述第一方向和所述第二方向相反。

2.根据权利要求1所述的传送杆，其特征在于，所述载体包括第一管体，所述夹取装置设置在所述第一管体的第一端，所述第一驱动装置设置在所述第一管体内，所述第二驱动装置与所述第一管体的第二端相接。

3.根据权利要求2所述的传送杆，其特征在于，所述夹取装置包括：

固定部，与所述第一管体的第一端固定连接；

活动部，与所述第一管体的第一端转动连接，所述第一驱动装置用于驱动所述活动部相对所述第一管体转动，从而使所述活动部靠近所述固定部或远离所述固定部，进而实现对样品台的夹紧或松开。

4.根据权利要求3所述的传送杆，其特征在于，所述推杆穿设在所述第一管体内，并与所述活动部转动连接，其中，所述推杆相对所述活动部转动的轴线与所述活动部相对所述第一管体转动的轴线之间不同轴；所述推杆用于接收所述第一驱动装置的施力，以便推动所述活动部相对于所述第一管体转动。

5.根据权利要求4所述的传送杆，其特征在于，所述第一驱动装置包括电磁铁，所述电磁铁设置在所述第一管体内，所述电磁铁通电后能够驱动所述推杆在所述第一方向上运动，进而使所述活动部相对于所述第一管体转动；及/或

所述载体还包括第一支撑环，所述第一支撑环的外壁与所述第一管体的内壁紧配合，所述推杆穿设在所述第一支撑环内，并可在所述第一方向和所述第二方向上相对所在第一支撑环运动。

6.根据权利要求5所述的传送杆，其特征在于，所述第一驱动装置还包括弹性件，所述推杆在所述第一方向上运动时会对所述弹性件施力，使所述弹性件产生形变，以便在所述电磁铁断电时通过所述弹性件的弹力使所述推杆复位。

7.根据权利要求2所述的传送杆，其特征在于，所述第二驱动装置包括：

支撑件，所述第一管体设置在所述支撑件上，并可以在所述第一方向和所述第二方向上相对所述支撑件运动；

电机，所述电机的机体固定在所述支撑件上；

齿轮齿条传动机构，其中，所述齿轮齿条传动机构的齿轮与所述电机的主轴相接，所述齿轮齿条传动机构的齿条与所述第一管体的第二端相接。

8.根据权利要求7所述的传送杆，其特征在于，所述支撑件包括第二管体和第二支撑环，所述电机固定在所述第二管体上，所述第二支撑环的外壁与所述第二管体的内壁紧配合，所述第一管体穿设在所述第二支撑环内，并可在第一方向和第二方向上相对所述第二支撑环运动；及/或

所述第二驱动装置还包括两个导电滑轨和两个电刷，两个所述导电滑轨分别设置在所述齿条的两侧，两个所述导电滑轨分别与电磁铁的接线端电性连接；两个所述电刷分别与两个所述导电滑轨电性接触，两个所述电刷分别与电源的两个电极相接；其中，所述导电滑轨可以在所述第一方向和所述第二方向上相对所述电刷滑动，且所述导电滑轨相对所述电刷滑动时，二者保持电性接触。

9.一种扫描电镜，其特征在于，包括：

真空仓；

样品台，用于支撑放置样品；以及

如权利要求1-8任意一项所述的传送杆，用于将所述样品台放置在所述真空仓内，或者用于将所述样品台从所述真空仓内取出。

10.根据权利要求9所述的扫描电镜，其特征在于，所述样品台上设有连接孔和卡口；

所述传送杆的固定部可以伸入所述连接孔内，所述传送杆的活动部上设有与所述卡口匹配的卡块；其中，所述活动部朝向所述固定部转动时，所述卡块能够卡在所述卡口内，所述活动部远离所述固定部转动时，所述卡块能够从所述卡口内退出。