[发明专利]多晶硅还原工艺尾气的净化方法及净化系统在审
| 申请号： | 201910574662.2 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN112138524A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 武珠峰;刘兴平;银波;范协诚;宋高杰 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/70 | 分类号： | B01D53/70;B01D53/72;B01D53/76 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;张萍 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅还原工艺尾气的净化方法及净化系统，该方法包括以下步骤：将多晶硅还原工艺尾气与氧化剂氯气混合，多晶硅还原工艺尾气包括氢气、氯硅烷、磷烷、硼烷，其中，磷烷、硼烷与氯气反应，磷烷、硼烷分别被氧化，生成单质磷和/或磷的氯化物、单质硼和/或硼的氯化物，得到反应后的混合气，将混合气降温进行气液分离，得到分离开的液体、分离开的气体，分离开的液体包括：氯硅烷、单质磷和/或磷的氯化物、单质硼和/或硼的氯化物。本发明中的多晶硅还原工艺尾气的净化方法及净化系统，通过将还原尾气中的低价态的硼磷杂质氧化为单质或高价态的硼磷杂质，大大降低了回收氢气中硼磷杂质的分离难度，提高了回收氢气的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 工艺 尾气 净化 方法 净化系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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