[发明专利]一种冷却背板有效
| 申请号： | 201910572087.2 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN112144034B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 臧龙杰 | 申请（专利权）人： | 昆山世高新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明为了解决现有技术中冷却背板频繁拆卸易出现泄漏的技术问题，提供了一种冷却背板。冷却背板的本体内部设置有数个独立的冷却腔室，每一个冷却腔室均具有两个连通到外部的开口；本体的外部对应每一个开口处均采用螺丝锁附有一个与冷却腔室连通的接头，在拆卸靶材和冷却背板时只需将接头上的螺丝卸下，即可实现冷却背板与冷水源供应设备的脱离。在接头与本体之间采用密封件实现密封，使得冷却背板在频繁拆卸后依旧能保持较佳的密封性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 背板 | ||
【主权项】：
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