[发明专利]一种冷却背板

说明书

本发明为了解决现有技术中冷却背板频繁拆卸易出现泄漏的技术问题，提供了一种冷却背板。冷却背板的本体内部设置有数个独立的冷却腔室，每一个冷却腔室均具有两个连通到外部的开口；本体的外部对应每一个开口处均采用螺丝锁附有一个与冷却腔室连通的接头，在拆卸靶材和冷却背板时只需将接头上的螺丝卸下，即可实现冷却背板与冷水源供应设备的脱离。在接头与本体之间采用密封件实现密封，使得冷却背板在频繁拆卸后依旧能保持较佳的密封性能。

技术领域

本发明属于液晶、半导体、太阳电池板镀膜制造生产技术领域，涉及一种用于冷却的背板。

背景技术

在液晶、半导体、太阳电池板镀膜成膜过程中，靶材受到高速荷能粒子连续轰击，会产生高温，易造成靶材损坏。于是需要通过冷却背板，对靶材持续进行冷却。冷却背板内部具有供冷水源流动的腔体，循环冷水源通过热交换器将把靶材的热量交换出去，实现控制靶材温度的目的。

靶材寿命有限，靶材在使用设定的次数后，需要进行更换。靶材绑定在冷却背板上，冷却背板需同靶材一同拆卸。但频繁拆卸冷却背板会导致背板的焊接接头处出现泄漏，不仅影响靶材的冷却效率，还导致镀膜设备的使用存在较大风险。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种可便捷式拆卸、密封效果好，能防止冷却源溢出的冷却背板。

本发明提供的技术方案如下：

一种冷却背板，包括本体，所述本体内部设置有数个独立的冷却腔室，每一个冷却腔室均具有两个连通到外部的开口；所述本体的外部对应每一个所述开口处均采用螺丝锁附有一个与所述冷却腔室连通的接头；所述接头与所述本体之间采用密封件进行密封。

在本技术方案中，在冷却背板外部的接头为可拆卸式，如此在拆卸靶材和冷却背板时只需将接头上的螺丝卸下，即可实现冷却背板与冷水源供应设备的脱离。

本发明提供的一种冷却背板，还包括以下附加技术特征：

进一步的是，所述冷却腔室的横截面为正方形或者长方形结构。

进一步的是，数个所述冷却腔室并列设置。

进一步的是，所述接头包括与冷水源供应设备连接的接插部和与本体连接的固定部，所述接插部与固定部中共设有与所述冷却腔室连通的通路，所述密封件嵌装在所述固定部对应所述本体的一面。

进一步的是，所述接插部的外部直身上设置有一圈凹槽。

进一步的是，所述密封件为O型圈。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1.将原先焊接式的接头改成可拆卸式，实现了靶材和冷却背板的快速拆卸；

2.在接头与本体之间采用密封件实现密封，使得冷却背板在频繁拆卸后依旧能保持较佳的密封性能；

3.将冷却腔室设计成方形，不仅便于CNC加工，还便于腔室变形量的计算；精准的变形量计算不仅能够实现冷却背板的物尽其用，还能够实现冷却背板的及时更换。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是实施例一中公开的冷却背板本体的剖视图；

图2是实施例一中公开的冷却背板的剖视图；

图3是实施例一中公开的接头的剖视图；

图4是实施例二中公开的冷却背板本体的剖视图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例一