[发明专利]用于脉冲激光沉积的装置以及具有基板表面的基板在审
| 申请号： | 201910570727.6 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110656312A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | J·A·扬森斯;J·M·德克斯;K·H·A·伯姆;W·C·L·霍普曼;J·A·霍伊费尔 | 申请（专利权）人： | 索尔玛特斯有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/50 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 许剑桦 |
| 地址： | 荷兰恩*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于脉冲激光沉积的装置和具有基板表面的基板，该装置包括：基板保持器，用于保持基板；靶，该靶布置成面向基板的基板表面；速度过滤器，该速度过滤器布置在基板和靶之间，该速度过滤器包括旋转体，该旋转体有至少一个过滤器通道开口；脉冲激光，该脉冲激光在靶点处朝向靶，用于产生靶材料的等离子体羽流，其中，在靶点处的靶表面面对基板表面；以及等离子体孔板，该等离子体孔板布置在靶和基板之间，该等离子体孔板有等离子体通道开口，其中，等离子体通道开口由分割平面分成上游部分和下游部分，该分割平面垂直于速度过滤器的旋转方向，靶点与该分割平面重合，且上游部分的表面面积大于下游部分的表面面积。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器 基板 等离子体 分割平面 靶点 孔板 等离子体通道 开口 基板表面 脉冲激光 旋转体 等离子体羽流 脉冲激光沉积 过滤器通道 基板保持器 面对基板 面向基板 上游 靶表面 靶布置 靶材料 重合 垂直 | ||
【主权项】：
1.用于脉冲激光沉积的装置和具有基板表面的基板，所述装置包括：/n-基板保持器，用于保持基板；/n-靶，所述靶布置成面向基板的基板表面；/n-速度过滤器，所述速度过滤器布置在基板和靶之间，所述速度过滤器包括旋转体，所述旋转体具有至少一个过滤器通道开口；/n-脉冲激光，所述脉冲激光在靶点处朝向靶，用于产生靶材料的等离子体羽流，其中，在靶点处的靶的表面面对基板表面，/n其特征在于：/n-等离子体孔板，所述等离子体孔板布置在靶和基板之间，所述等离子体孔板具有等离子体通道开口，其中，等离子体通道开口由分割平面分成上游部分和下游部分，所述分割平面垂直于速度过滤器的旋转方向，靶点与所述分割平面一致，且至少在由脉冲激光产生等离子体羽流的时刻，上游部分的表面面积大于下游部分的表面面积。/n
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