[发明专利]采用射频激励场发射电子束的冷阴极电子枪

摘要

该发明属于一种采用射频激励场发射产生电子束的冷阴极电子枪。包括阴极腔体及座体，内导体及其阴极头、设于阴极头上的电子发射层，聚焦极、阳极及对应的支撑环、电源接头，上、下壳体，密封板，射频输入端口；该发明利用四分之一波长同轴谐振腔对电场的增强作用，通过谐振腔在阴极发射面上激励均匀的强电磁场，并利用电场均匀的内导体端面/阴极头发射面区域实现场致发射。该发明适用范围宽，可在真空度高于10‑3Pa环境中工作，在输入百瓦量级射频功率时就能在阴极发射面产生107V/m以上的电场强度。因而，具有结构及生产工艺简单、体积小、使用寿命长，易于实现工业化生产，以及可广泛应用于发射电流大的真空电子器件且安全、可靠性高等特点。

主权项

1.一种采用射频激励场发射电子束的冷阴极电子枪，包括阴极腔体及射频输入端口，设于阴极腔体轴心线位置的内导体，其特征在于作为阴极头的内导体端部的外环面为圆弧形环面、以避免尖端放电，在内导体的上端沿轴线方向还依次间隔设有聚焦极及阳极，在阴极腔体下部还设有带排气孔的座体,以及设于聚焦极、阳极、阴极腔体及座体外侧的上、下壳体，在下壳体底部还设有密封板；射频输入端口穿过下壳体及阴极腔体的下侧腔体，其中的射频导入杆则进入内腔并嵌入内腔底部，射频输入端口本体则通过密封固定座与下壳体密封固定；阴极腔体通过座体与下壳体固定成一体，聚焦极、阳极则分别通过聚焦极支撑环及阳极支撑环与上壳体密封固定，并通过设于各相应支撑环上的电源接头与外电源连接。