[发明专利]基板支架有效
申请号: | 201910559838.7 | 申请日: | 2019-06-26 |
公开(公告)号: | CN110644039B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 宫本松太郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所 |
主分类号: | C25D17/06 | 分类号: | C25D17/06;C25D7/12 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;王秀辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的目的之一在于提供具备夹持器的创造性的基板支架。公开如下基板支架,其用于通过在框架间夹着基板来保持基板,基板支架具备前框架、后框架以及一个或多个夹持器,夹持器分别具有:具备钩基座与钩主体的钩部和具备至少一个爪的板件,夹持器的至少一个具备:具有锁定用的第一爪与半锁定用的第二爪的上述板件。 | ||
搜索关键词: | 支架 | ||
【主权项】:
1.一种基板支架,所述基板支架用于通过在框架间夹着基板来保持基板,其中,/n所述基板支架具备:/n前框架;/n后框架;以及/n一个或多个夹持器,用于夹紧所述前框架与所述后框架,/n一个或多个所述夹持器分别具备:/n钩部,安装于所述前框架与所述后框架中的一方,所述钩部具备钩基座与钩主体,所述钩主体以能枢转的方式被安装于所述钩基座;以及/n板件,安装于所述前框架与所述后框架中的另一方,所述板件具备至少一个爪,该至少一个爪构成为通过所述钩主体的枢转使所述钩主体钩挂于所述爪,/n一个或多个所述夹持器中的至少一个夹持器具备:具有第一爪与第二爪的所述板件,/n所述第一爪构成为能通过将所述钩主体钩挂于所述第一爪而使所述基板支架保持基板,/n所述第二爪构成为:所述钩主体钩挂于所述第二爪的情况下的所述前框架与所述后框架之间的距离大于所述钩主体钩挂于所述第一爪的情况下的所述前框架与所述后框架之间的距离。/n
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