[发明专利]基板支架

说明书

本发明的目的之一在于提供具备夹持器的创造性的基板支架。公开如下基板支架，其用于通过在框架间夹着基板来保持基板，基板支架具备前框架、后框架以及一个或多个夹持器，夹持器分别具有：具备钩基座与钩主体的钩部和具备至少一个爪的板件，夹持器的至少一个具备：具有锁定用的第一爪与半锁定用的第二爪的上述板件。

技术领域

本发明涉及基板支架。

背景技术

以往，在半导体晶圆、印刷电路基板等基板的表面形成配线、凸块(突起状电极)等。作为形成该配线以及凸块等的方法，公知有电镀法。

专利文献1(日本特开2018-40045号公报)中公开一种具备夹持器(clamper)的基板支架。专利文献1中记载了根据该基板支架即便在保持大型且较薄的基板的情况下也能够抑制或防止挠曲的产生的主旨。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018-40045号公报。

发明内容

本发明的目的之一在于提供具备夹持器的创造性的基板支架。

作为一个实施方式，本发明公开了基板支架，其用于通过在框架间夹着基板来保持基板，基板支架具备前框架、后框架以及一个或多个夹持器，该一个或多个夹持器用于夹紧前框架与后框架，一个或多个夹持器分别具备：钩部，安装于前框架与后框架中的一方，钩部具备钩基座与钩主体，钩主体以能枢转的方式安装于钩基座；以及板件，安装于前框架与后框架的中另一方，并具备至少一个爪，该至少一个爪构成为通过钩主体的枢转使钩主体钩挂于上述爪，一个或多个夹持器的至少一个具备：具有第一爪与第二爪的板件，第一爪构成为能通过使钩主体钩挂于第一爪来使基板支架保持基板，第二爪构成为钩主体钩挂于第二爪的情况下的前框架与后框架之间的距离大于钩主体钩挂于第一爪的情况下的前框架与后框架之间的距离。

附图说明

图1是一个实施方式所涉及的电镀装置的整体配置图。

图2A是示意性地示出一个实施方式所涉及的基板支架的主视图。

图2B是示意性地示出一个实施方式所涉及的基板支架的侧剖视图。

图2C是图2B中标注为“A”的部分的放大图。

图3是保持基板支架中的基板的部分的侧剖视图。

图4是表示钩部的一部分的侧剖视图。

图5是表示钩部以及板件的侧剖视图。

图6A、图6B以及图6C分别是从不同的角度观察的板件的立体图。

图7A是钩部的立体图。

图7B是从图7A消除了钩基座的图。

图7C是从图7A消除了钩主体以及杆的图。

图8是具备3个夹持器和一个带半锁定(semi-lock)功能的夹持器的基板支架的主视图。

图9是具备沿着角状的开口的各边排列的多个夹持器的基板支架的主视图。

图10是基板支架的示意性剖视图。

图11是具备磁性夹持器的基板支架的示意性剖视图。

图12是具备钩部250SL以及板件270SL的基板支架1的局部剖视图。

附图标记说明