[发明专利]碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法

摘要

本发明公开了一种碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法，所述CdZnTe薄膜表面进行机械抛光和化学抛光，即依次进行使用Al₂O₃抛光粉的物理机械抛光和使用溴甲醇溶液的化学腐蚀抛光。相比于未经表面处理的CdZnTe薄膜，本发明所采用的表面处理得到的CdZnTe薄膜表面缺陷和杂质更少，表面粗糙度更小，薄膜表面质量更好。本发明制备的薄膜材料对于射线探测、辐射探测、天体物理、国防安保以及医疗检测等方面具有重要意义和应用前景。

主权项

1.一种碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法，其特征在于，所述CdZnTe薄膜进行表面处理，依次使用了Al₂O₃抛光粉进行物理机械抛光和溴甲醇溶液进行化学腐蚀抛光，包括如下步骤：(1)CdZnTe薄膜机械抛光过程：采用物理机械抛光方法，在备用的CdZnTe薄膜表面进行表面处理，采用Al₂O₃粉末材料为抛光粉，材料纯度为99～99.99999％，控制Al₂O₃抛光粉的粒径为1～1000nm；控制抛光时间为0.5～5h；控制转盘转速为10～200rad/min，得到经过物理机械抛光处理的CdZnTe薄膜；(2)CdZnTe薄膜化学抛光过程：采用化学腐蚀抛光方法，在所述步骤(1)中制备的CdZnTe薄膜表面进行表面处理；选取溴甲醇溶液为抛光液；控制溴甲醇溶液的浓度为1～50％；控制腐蚀时间为0.5～15min，得到碲锌镉薄膜成品。