[发明专利]碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法

权利要求书

1.一种碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法，其特征在于，所述CdZnTe薄膜进行表面处理，依次使用了Al₂O₃抛光粉进行物理机械抛光和溴甲醇溶液进行化学腐蚀抛光，包括如下步骤：

(1)CdZnTe薄膜机械抛光过程：

采用物理机械抛光方法，在备用的CdZnTe薄膜表面进行表面处理，采用Al₂O₃粉末材料为抛光粉，材料纯度为99～99.99999％，控制Al₂O₃抛光粉的粒径为1～1000nm；控制抛光时间为0.5～5h；控制转盘转速为10～200rad/min，得到经过物理机械抛光处理的CdZnTe薄膜；

(2)CdZnTe薄膜化学抛光过程：

采用化学腐蚀抛光方法，在所述步骤(1)中制备的CdZnTe薄膜表面进行表面处理；选取溴甲醇溶液为抛光液；控制溴甲醇溶液的浓度为1～50％；控制腐蚀时间为0.5～15min，得到碲锌镉薄膜成品。

2.根据权利要求1所述碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法，其特征在于：在所述步骤(1)中，所述碲锌镉薄膜采用如下生长过程制备：

a.选取FTO导电玻璃衬底，厚度不低于2mm，将衬底依次在丙酮、甲醇、乙醇和去离子水中分别超声清洗至少15分钟后，然后用高纯氮气吹干，得到洁净干燥的FTO衬底，备用；

b.采用近空间升华方法，在所述步骤a中得到的洁净干燥的FTO衬底上生长一层CdZnTe薄膜，选取多晶CdZnTe材料为升华源，材料纯度为99～99.99999％，控制生长环境的真空度为2-3Pa；控制衬底加热温度为不低于400℃，升华源加热温度不低于600℃；控制衬底与升华源之间的距离不超过4mm；控制生长时间至少为3h；制备过程结束后，待所制备的CdZnTe薄膜自然冷却至室温，取出CdZnTe薄膜，即得到备用的CdZnTe薄膜。

3.根据权利要求1所述碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法，其特征在于：在所述步骤(1)中，控制转盘转速为80～200rad/min，控制Al₂O₃抛光粉的粒径为50～250nm；控制抛光时间为1～5h。

4.根据权利要求1所述碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法，其特征在于：在所述步骤(1)所述CdZnTe薄膜采用多晶CdZnTe薄膜。

5.根据权利要求1所述碲锌镉薄膜的表面抛光工艺方法，其特征在于：在所述步骤(2)采用化学腐蚀抛光方法，控制溴甲醇溶液的浓度为2～50％；控制腐蚀时间为3～5min。