[发明专利]一种浮法硅片的生产设备及其生产方法有效
| 申请号： | 201910531399.9 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN110172729B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 沈渝瀚;许颖;丁阳 | 申请（专利权）人： | 江阴市广跃新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/14;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄轻拓知识产权代理事务所(普通合伙) 13128 | 代理人： | 王璐 |
| 地址： | 214423 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种浮法硅片的生产设备，包括坩埚和高温料槽，所述高温料槽底部设置有第一加热器，高温料槽的出料端通过伺服电机连接有拉杆，拉杆的顶部连接有片状籽晶，高温料槽出料端的外侧设置有若干个托辊，托辊内设置有冷却器，片状籽晶外侧设置有加热框架，加热框架与片状籽晶间隙配合，加热框架固定在拉杆上，加热框架内设置有若干个组第二加热器。本发明能够改进现有技术的不足，减少浮法硅片边缘出现缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 生产 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种浮法硅片的生产设备，包括坩埚（1）和高温料槽（2），其特征在于：所述高温料槽（2）底部设置有第一加热器（3），高温料槽（2）的出料端通过伺服电机（4）连接有拉杆（5），拉杆（5）的顶部连接有片状籽晶（6），高温料槽（2）出料端的外侧设置有若干个托辊（7），托辊（7）内设置有冷却器（8），片状籽晶（6）外侧设置有加热框架（9），加热框架（9）与片状籽晶（6）间隙配合，加热框架（9）固定在拉杆（5）上，加热框架（9）内设置有若干个组第二加热器（10）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江阴市广跃新材料科技有限公司，未经江阴市广跃新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910531399.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：馈电液及其应用、电极箔及其制备方法
- 下一篇：一种单晶炉用加热器及其加热工艺
