[发明专利]一种基于容栅尺的显微镜多维自动位移平台定位装置

摘要

本发明公开了一种基于容栅尺的显微镜多维自动位移平台定位装置，包括夹持平台、X轴移动平台机构、Y轴移动平台机构和Z轴移动平台机构，X轴移动平台机构可调节载物台在X轴方向上的移动，Y轴移动平台机构可调节载物台在Y轴方向上的移动，Z轴移动平台机构可调节载物台在Z轴方向上的移动。该定位装置结构简单，操作方便，能够精准地调节载物台的位置。

主权项

1.一种基于容栅尺的显微镜多维自动位移平台定位装置，其特征在于：包括夹持平台、X轴移动平台机构、Y轴移动平台机构和Z轴移动平台机构；X轴移动平台机构包括X轴平台和X轴容栅尺，X轴平台中央设有X轴透光孔，X轴容栅尺包括X轴动尺和X轴定尺，Y轴移动平台机构包括Y轴平台和Y轴容栅尺，Y轴平台中央设有Y轴透光孔，Y轴容栅尺包括Y轴动尺和Y轴定尺，Z轴移动平台机构包括Z轴平台和Z轴容栅尺，Z轴平台中央设有Z轴透光孔，Z轴容栅尺包括Z轴动尺和Z轴定尺，X轴分别平行于Y轴平台、Z轴平台和夹持平台，且X轴平台和Y轴平台均位于Z轴平台的正上方，Z轴平台位于夹持平台的正上方；Z轴平台安装于夹持平台上，Z轴平台可沿Z轴方向上下滑动，Z轴动尺或Z轴定尺安装于夹持平台上，Z轴定尺或Z轴动尺安装于Z轴平台上，Z轴定尺和Z轴动尺配合；Y轴平台安装于Z轴平台上，Y轴平台可沿Y轴方向水平滑动，Y轴动尺或Y轴定尺安装于Z轴平台上，Y轴定尺或Y轴动尺安装于Y轴平台上，Y轴定尺和Y轴动尺配合；X轴平台安装于Y轴平台上，X轴平台可沿X轴方向水平滑动，X轴动尺或X轴定尺安装于Y轴平台上，X轴定尺或X轴动尺安装于X轴平台上，X轴定尺和X轴动尺配合。