[发明专利]一种基于容栅尺的显微镜多维自动位移平台定位装置

权利要求书

1.一种基于容栅尺的显微镜多维自动位移平台定位装置，其特征在于：包括夹持平台、X轴移动平台机构、Y轴移动平台机构和Z轴移动平台机构；

X轴移动平台机构包括X轴滑动机构、X轴平台和X轴容栅尺，X轴平台中央设有X轴透光孔，X轴平台设有第一X轴边沿和第二X轴边沿，第一X轴边沿和第二X轴边沿平行，X轴容栅尺包括X轴动尺和X轴定尺，X轴滑动机构包括第一X轴交叉滚子滑轨、第二X轴交叉滚子滑轨和X轴驱动机构；

Y轴移动平台机构包括Y轴滑动机构、Y轴平台和Y轴容栅尺，Y轴平台中央设有Y轴透光孔，Y轴平台设有第一Y轴边沿、第二Y轴边沿、第三Y轴边沿和第四Y轴边沿，第一Y轴边沿平行于第三Y轴边沿，第二Y轴边沿平行于第四Y轴边沿第一Y轴边沿垂直于第二Y轴边沿，Y轴容栅尺包括Y轴动尺和Y轴定尺，Y轴滑动机构包括第一Y轴交叉滚子滑轨、第二Y轴交叉滚子滑轨和Y轴驱动机构；

Z轴移动平台机构包括Z轴滑动机构、Z轴平台和Z轴容栅尺，Z轴平台中央设有Z轴透光孔，Z轴容栅尺包括Z轴动尺和Z轴定尺，Z轴滑动机构包括第一Z轴交叉滚子滑轨、第二Z轴交叉滚子滑轨和Z轴驱动机构；

X轴平台、Y轴平台、Z轴平台和夹持平台从上至下依次设置， X轴平台分别平行于Y轴平台、Z轴平台和夹持平台，且X轴平台、Y轴平台和Z轴平台相互紧挨；

X轴驱动机构的固定部安装于Y轴平台上，X轴驱动机构的移动部固定于第X轴边沿上，Y轴平台位于第一X轴边沿内侧和第二X轴边沿内侧之间，第一X轴边沿内侧与第二Y轴边沿外侧通过第一X轴交叉滚子滑轨连接，第二X轴边沿内侧与第四Y轴边沿外侧通过第二X轴交叉滚子滑轨连接，X轴定尺和第二X轴交叉滚子滑轨与X轴平台连接的导轨连接，X轴动尺和第二X轴交叉滚子滑轨与Y轴平台连接的导轨连接；

Y轴驱动机构的固定部安装于Z轴平台上，Y轴驱动机构的移动部固定于Y轴平台上，Z轴平台位于第一Y轴边沿内侧和第三Y轴边沿内侧之间，第一Y轴边沿内侧与Z轴平台的一边沿通过第一Y轴交叉滚子滑轨连接，第三Y轴边沿内侧与Z轴平台的另一边沿通过第二Y轴交叉滚子滑轨连接，Y轴动尺和第二Y轴交叉滚子滑轨与Y轴平台连接的导轨连接，Y轴定尺和第二Y轴交叉滚子滑轨与Z轴平台连接的导轨连接；

Z轴驱动机构的固定部固定于夹持平台上，Z轴驱动机构的移定部安装于Z轴平台上，Z轴平台通过第一Z轴交叉滚子滑轨和第二Z轴交叉滚子滑轨与夹持平台连接，第一Z轴交叉滚子滑轨和第二Z轴交叉滚子滑轨分别垂直于Z轴平台，Z轴定尺和第二Z轴交叉滚子滑轨与Z轴平台连接的导轨连接，Z轴动尺和第二Z轴交叉滚子滑轨与夹持平台连接的导轨连接。

2.根据权利要求1所述的基于容栅尺的显微镜多维自动位移平台定位装置，其特征在于：所述的Z轴驱动机构包括Z轴电机、Z轴螺杆、Z轴螺母座和Z轴防护罩，Z轴防护罩与Z轴平台固定连接，Z轴电机安装于Z轴防护罩上，Z轴螺母座固定于夹持平台上，Z轴电机的输出端与Z轴螺杆下端连接，Z轴螺杆与Z轴螺母座连接，Z轴螺杆垂直于Z轴平台；

所述的Y轴驱动机构包括Y轴电机、Y轴螺杆、Y轴螺母座和Y轴防护罩，Y轴防护罩与Y轴平台固定连接，Y轴电机安装于Y轴防护罩上，Y轴螺母座固定于Z轴平台上，Y轴电机的输出端与Y轴螺杆的一端连接，Y轴螺杆与Y轴螺母座连接，Y轴螺杆平行于Y轴平台；

所述的X轴驱动机构包括X轴电机、X轴螺杆、X轴螺母座和X轴防护罩，X轴防护罩与Y轴平台固定连接，X轴电机安装于X轴防护罩上，X轴螺母座固定于X轴平台上，X轴电机的输出端与X轴螺杆的一端连接，X轴螺杆与X轴螺母座连接，X轴螺杆平行于X轴平台。

3.根据权利要求2所述的基于容栅尺的显微镜多维自动位移平台定位装置，其特征在于： Z轴防护罩包括第一Z轴侧板、第二Z轴侧板、第三Z轴侧板和Z轴耳板，第一Z轴侧板、第二Z轴侧板和第三Z轴侧板分别与Z轴平台连接，且第一Z轴侧板、第二Z轴侧板和第三Z轴侧板分别垂直于Z轴平台，第一Z轴侧板垂直于第二Z轴侧板，第一Z轴侧板平行于第三Z轴侧板，Z轴耳板与第一Z轴侧板连接，Z轴耳板平行于Z轴平台，Z轴耳板位于夹持平台的正下方，Z轴电机固定于Z轴耳板上，夹持平台和第二Z轴侧板均呈方形，夹持平台其中一侧壁开设有半圆形的夹持槽，夹持平台位于第一Z轴侧板、第二Z轴侧板和第三Z轴侧板围成的空间内，第二Z轴侧板相互平行的两侧壁分别通过第一Z轴交叉滚子滑轨和第二Z轴交叉滚子滑轨与夹持平台连接。