[发明专利]一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置及方法有效
| 申请号： | 201910529654.6 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN110132993B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 刘红婕;王方;朱启华;郑天然;周丽丹;胡东霞;袁强;袁晓东 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/896 | 分类号： | G01N21/896;G01N21/89 |
| 代理公司： | 绵阳市博图知识产权代理事务所(普通合伙) 51235 | 代理人： | 杨晖琼 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置，属于光学膜技术领域，包括样品台、三维电动移动平台、成像采集单元和控制分析单元，所述成像采集单元包括一个光源模块和两个成像模块，所述光源模块包括激光器、扩束系统和半透半反反射镜，所述两个成像模块分别是普通显微成像模块和相位成像模块，所述普通显微成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和普通成像相机，所述相位成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和相位成像相机，本发明可以获得节瘤缺陷的三维信息包括纵向信息，可以判断较小尺寸的节瘤缺陷；特别适合特大型高功率激光系统中常用的大口径光学元件膜层缺陷的检测与成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 检测 光学 膜层节瘤 缺陷 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置，其特征在于：包括用于竖直放置样品的样品台；与所述样品台连接的用于调整样品位置的三维电动移动平台；用于图像采集并成像的成像采集单元；及用于控制所述三维电动移动平台和成像采集单元的控制分析单元；其中，所述成像采集单元包括一个光源模块和两个成像模块，所述光源模块包括激光器、扩束系统和半透半反反射镜，所述两个成像模块分别是普通显微成像模块和相位成像模块，所述普通显微成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和普通成像相机，所述相位成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和相位成像相机。
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