[发明专利]一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置及方法

权利要求书

1.一种快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置，其特征在于：包括

用于竖直放置样品的样品台；

与所述样品台连接的用于调整样品位置的三维电动移动平台；

用于图像采集并成像的成像采集单元；

及用于控制所述三维电动移动平台和成像采集单元的控制分析单元；

其中，所述成像采集单元包括一个光源模块和两个成像模块，所述光源模块包括激光器、扩束系统和半透半反反射镜，所述两个成像模块分别是普通显微成像模块和相位成像模块，所述普通显微成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和普通成像相机，所述相位成像模块包括依次排列的成像物镜、适配器和相位成像相机；

所述装置根据四波横向剪切干涉的原理，采用相位成像相机通过面成像技术实现节瘤缺陷的探测。

2.根据权利要求1所述的快速检测光学膜层节瘤缺陷的装置，其特征在于：所述激光器为405nm二极管激光器。

3.采用权利要求1所述的装置进行光学膜层节瘤缺陷检测的方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）在样品待测面做标记点；

（2）安装样品，固定样品台，开启光源模块和普通成像模块，微调样品台，使得样品在整个大口径范围内都能够清晰成像；

（3）开启相位成像模块，设置样品台运动方向，与成像采集单元垂直的方向为Z方向，与Z方向垂直的方向为XY方向，调节样品台沿XY方向移动，对不同位置连续成像，由控制分析单元获取图像并对图像进行拼接与处理，获取光学膜层节瘤缺陷。