[发明专利]一种基于选择性加热去磁的MicroLED巨量转移装置及方法

摘要

本发明属于巨量转移技术领域，并具体公开了一种基于选择性加热去磁的MicroLED巨量转移装置及方法，其包括基板及设置在基板上表面的磁性方块阵列，磁性方块阵列中每一磁性方块均具有磁性且上下表面为异名磁极，并且各磁性方块能够在外部加热的作用下失去磁性，转移操作时磁性方块阵列与待转移的具有磁性的MicroLED阵列一一对应，利用磁性方块阵列先整体拾取MicroLED阵列，再选择性的加热磁性方块使其失去磁性以将MicroLED选择性的转移至具有磁性的目标电路基板上。本发明可实现MicroLED的图案化、选择性巨量转移，具有操作方便，适用性强，定位精确等优点。

主权项

1.一种基于选择性加热去磁的MicroLED巨量转移装置，其特征在于，该装置包括基板(11)及设置在该基板(11)上表面的磁性方块阵列(12)，所述磁性方块阵列(12)中的每一磁性方块均具有磁性且其上下表面为异名磁极，并且各磁性方块能够在外部加热的作用下失去磁性，该巨量转移装置执行转移动作时所述磁性方块阵列(12)与待转移的具有磁性的MicroLED阵列一一对应，利用该磁性方块阵列(12)先整体拾取MicroLED阵列，再选择性的加热磁性方块使其失去磁性以将MicroLED选择性的转移至具有磁性的目标电路基板上，以此实现基于选择性加热去磁的MicroLED巨量转移。